Yn gyntaf, manteision sylfaen gwenithfaen
Anhyblygedd uchel ac anffurfiad thermol isel
Mae dwysedd gwenithfaen yn uchel (tua 2.6-2.8 g/cm³), a gall modwlws Young gyrraedd 50-100 GPa, sy'n llawer uwch na modwlws deunyddiau metel cyffredin. Gall yr anhyblygedd uchel hwn atal dirgryniad allanol ac anffurfiad llwyth yn effeithiol, a sicrhau gwastadrwydd canllaw arnofio aer. Ar yr un pryd, mae cyfernod ehangu llinol gwenithfaen yn isel iawn (tua 5 × 10⁻⁶/℃), dim ond 1/3 o aloi alwminiwm, bron dim anffurfiad thermol yn yr amgylchedd amrywiad tymheredd, yn arbennig o addas ar gyfer labordai tymheredd cyson neu olygfeydd diwydiannol gyda gwahaniaeth tymheredd mawr rhwng dydd a nos.
Perfformiad dampio rhagorol
Mae strwythur polygrisialog gwenithfaen yn ei gwneud hi'n meddu ar nodweddion dampio naturiol, ac mae'r amser gwanhau dirgryniad 3-5 gwaith yn gyflymach nag amser dur. Yn ystod peiriannu manwl gywir, gall amsugno dirgryniad amledd uchel yn effeithiol fel cychwyn a stopio modur, torri offer, ac osgoi dylanwad cyseiniant ar gywirdeb lleoli'r platfform symudol (gwerth nodweddiadol hyd at ±0.1μm).
Sefydlogrwydd dimensiynol hirdymor
Ar ôl cannoedd o filiynau o flynyddoedd o brosesau daearegol ffurfio gwenithfaen, mae ei straen mewnol wedi'i ryddhau'n llwyr, yn wahanol i ddeunyddiau metel oherwydd straen gweddilliol a achosir gan anffurfiad araf. Mae'r data arbrofol yn dangos bod newid maint sylfaen y gwenithfaen yn llai nag 1μm/m yn ystod y cyfnod o 10 mlynedd, sy'n sylweddol well na newid haearn bwrw neu strwythurau dur wedi'u weldio.
Yn gwrthsefyll cyrydiad ac yn rhydd o waith cynnal a chadw
Mae gan wenithfaen oddefgarwch cryf i asid ac alcali, olew, lleithder a ffactorau amgylcheddol eraill, nid oes angen gorchuddio'r haen gwrth-rust mor rheolaidd â'r sylfaen fetel. Ar ôl malu a sgleinio, gall garwedd yr wyneb gyrraedd Ra 0.2μm neu lai, y gellir ei ddefnyddio'n uniongyrchol fel arwyneb dwyn y rheilen canllaw arnofio aer i leihau gwallau cydosod.
Yn ail, cyfyngiadau sylfaen gwenithfaen
Anhawster prosesu a phroblem cost
Mae gan wenithfaen galedwch Mohs o 6-7, sy'n gofyn am ddefnyddio offer diemwnt ar gyfer malu manwl gywir, dim ond 1/5 o effeithlonrwydd prosesu deunyddiau metel yw hynny. Mae strwythur cymhleth y rhigol gynffon golomen, y tyllau edau a nodweddion eraill y gost prosesu yn uchel, ac mae'r cylch prosesu yn hir (er enghraifft, mae prosesu platfform 2m × 1m yn cymryd mwy na 200 awr), gan arwain at gost gyffredinol 30% -50% yn uwch na'r platfform aloi alwminiwm.
Risg toriad brau
Er y gall y cryfder cywasgol gyrraedd 200-300MPa, dim ond 1/10 ohono yw cryfder tynnol gwenithfaen. Mae toriad brau yn hawdd digwydd o dan lwyth effaith eithafol, ac mae'n anodd atgyweirio'r difrod. Mae angen osgoi crynodiad straen trwy ddylunio strwythurol, fel defnyddio trawsnewidiadau cornel crwn, cynyddu nifer y pwyntiau cynnal, ac ati.
Mae pwysau'n dod â chyfyngiadau system
Mae dwysedd gwenithfaen 2.5 gwaith yn fwy na dwysedd aloi alwminiwm, gan arwain at gynnydd sylweddol ym mhwysau cyffredinol y platfform. Mae hyn yn rhoi gofyniad uwch ar gapasiti dwyn y strwythur cynnal, a gall problemau inertia effeithio ar y perfformiad deinamig mewn senarios sy'n gofyn am symudiad cyflym (megis y bwrdd waffer lithograffeg).
Anisotropi deunydd
Mae dosbarthiad gronynnau mwynau gwenithfaen naturiol yn gyfeiriadol, ac mae caledwch a chyfernod ehangu thermol gwahanol safleoedd ychydig yn wahanol (tua ±5%). Gall hyn gyflwyno gwallau sylweddol ar gyfer llwyfannau manwl iawn (megis lleoli ar raddfa nano), y mae angen eu gwella trwy ddewis deunyddiau llym a thriniaeth homogeneiddio (megis calchynnu tymheredd uchel).
Fel elfen graidd offer diwydiannol manwl gywir, defnyddir platfform arnofiol aer pwysau statig manwl gywir yn helaeth mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, prosesu optegol, mesur manwl gywir a meysydd eraill. Mae'r dewis o ddeunydd sylfaen yn effeithio'n uniongyrchol ar sefydlogrwydd, cywirdeb a bywyd gwasanaeth y platfform. Mae gwenithfaen (gwenithfaen naturiol), gyda'i briodweddau ffisegol unigryw, wedi dod yn ddeunydd poblogaidd ar gyfer sylfeini platfform o'r fath yn ystod y blynyddoedd diwethaf.
Amser postio: Ebr-09-2025