Y Chwyldro Manwl mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion: Pan fydd gwenithfaen yn cwrdd â thechnoleg micron
1.1 Darganfyddiadau annisgwyl mewn gwyddor deunyddiau
Yn ôl adroddiad Cymdeithas Lled-ddargludyddion Rhyngwladol SEMI 2023, mae 63% o ffatrïoedd uwch y byd wedi dechrau defnyddio seiliau gwenithfaen yn lle llwyfannau metel traddodiadol. Mae'r garreg naturiol hon, sy'n tarddu o anwedd magma yn ddwfn yn y Ddaear, yn ailysgrifennu hanes gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion oherwydd ei phriodweddau ffisegol unigryw:
Mantais inertia thermol: dim ond 1/5 o gyfernod ehangu thermol gwenithfaen 4.5 × 10⁻⁶/℃ yw cyfernod ehangu thermol dur di-staen, a chynhelir sefydlogrwydd dimensiynol o ± 0.001mm yng ngwaith parhaus y peiriant lithograffeg.
Nodweddion dampio dirgryniad: mae'r cyfernod ffrithiant mewnol 15 gwaith yn uwch na chyfernod haearn bwrw, gan amsugno micro-ddirgryniad offer yn effeithiol
Natur magneteiddio sero: dileu'r gwall magnetig mewn mesuriad laser yn llwyr
1.2 Y daith metamorffosis o'r pwll glo i'r ffatri
Gan gymryd sylfaen gynhyrchu ddeallus ZHHIMG yn Shandong fel enghraifft, mae angen i ddarn o wenithfaen crai gael y canlynol:
Peiriannu manwl iawn: canolfan peiriannu cyswllt pum echel am 200 awr o felino parhaus, garwedd arwyneb hyd at Ra0.008μm
Triniaeth heneiddio artiffisial: 48 awr o ryddhau straen naturiol yn y gweithdy tymheredd a lleithder cyson, sy'n gwella sefydlogrwydd y cynnyrch 40%
Yn ail, datrys chwe phroblem manwl gywirdeb gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion "datrysiad creigiog"
2.1 Cynllun lleihau cyfradd darnio wafer
Arddangosiad achos: Ar ôl i ffowndri sglodion yn yr Almaen fabwysiadu ein platfform gwenithfaen arnofiol nwy:
| Diamedr y wafer | gostyngiad cyfradd sglodion | gwelliant gwastadrwydd |
| 12 modfedd | 67% | ≤0.001mm |
| 18 modfedd | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Cynllun torri tir newydd cywirdeb aliniad lithograffig
System iawndal tymheredd: mae synhwyrydd ceramig mewnosodedig yn monitro'r newidyn siâp mewn amser real ac yn addasu gogwydd y platfform yn awtomatig.
Data wedi'i fesur: o dan yr amrywiad o 28 ℃ ± 5 ℃, mae'r cywirdeb mewnosod yn amrywio llai na 0.12μm
Amser postio: Mawrth-24-2025