Ym meysydd gweithgynhyrchu manwl gywir ac ymchwil wyddonol, mae gwastadrwydd llwyfannau manwl gwenithfaen yn ddangosydd allweddol i sicrhau cywirdeb offer. Dyma gyflwyniad manwl i sawl dull canfod prif ffrwd a'u gweithdrefnau gweithredu i chi.
I. Dull canfod interferomedr laser
Yr interferomedr laser yw'r offeryn dewisol ar gyfer canfod gwastadrwydd manwl iawn. Cymerwch yr interferomedr laser ZYGO GPI XP fel enghraifft, gall ei benderfyniad gyrraedd 0.1nm. Wrth gynnal y canfod, yn gyntaf alinio ffynhonnell golau'r interferomedr â'r platfform a rhannu wyneb y platfform yn ardaloedd grid 50mm × 50mm. Wedi hynny, casglwyd y data ymyl ymyrraeth pwynt wrth bwynt, a chafodd y data eu ffitio a'u dadansoddi gan ddefnyddio'r polynomial Zernike i gael y gwall gwastadrwydd. Mae'r dull hwn yn berthnasol i lwyfannau manwl iawn a gall ganfod gwallau gwastadrwydd o ≤0.5μm/m². Fe'i defnyddir yn gyffredin wrth ganfod peiriannau ffotolithograffeg a llwyfannau peiriant mesur tair cyfesuryn pen uchel.
Ii. Dull Arae Lefel Electronig
Mae'r arae canfod lefel electronig yn syml i'w weithredu ac yn hynod effeithlon. Dewiswyd lefel electronig TESA A2 (gyda datrysiad o 0.01μm/m) a'i threfnu mewn arae 9 × 9 ar hyd cyfeiriad echelin X/Y y platfform. Trwy gasglu data gogwydd pob lefel yn gydamserol ac yna defnyddio'r dull lleiaf sgwâr ar gyfer cyfrifo, gellir cael y gwerth gwastadrwydd yn gywir. Gall y dull hwn nodi amodau ceugrwm ac amgrwm lleol y platfform yn effeithiol. Er enghraifft, gellir canfod amrywiad o 0.2μm o fewn ystod 50mm hefyd, sy'n addas ar gyfer canfod cyflym mewn cynhyrchu màs.
III. Dull crisial fflat optegol
Mae'r dull grisial gwastad optegol yn addas ar gyfer canfod llwyfannau ag arwynebedd bach. Cysylltwch y grisial gwastad optegol yn dynn â'r wyneb i'w brofi ar y llwyfan ac arsylwch y ffriniau ymyrraeth a ffurfiwyd rhyngddynt o dan oleuadau ffynhonnell golau monocromatig (fel lamp sodiwm). Os yw'r streipiau'n streipiau syth cyfochrog, mae'n dynodi gwastadrwydd da. Os yw streipiau crwm yn ymddangos, cyfrifwch y gwall gwastadrwydd yn seiliedig ar radd crymedd y streipen. Mae pob streipen grwm yn cynrychioli gwahaniaeth uchder o 0.316μm, a gellir cael y data gwastadrwydd trwy drosi syml.
Pedwar. Dull archwilio peiriant mesur tair-gydlynol
Gall y peiriant mesur tair-cydlynol gyflawni mesuriad manwl iawn mewn gofod tri dimensiwn. Rhowch y platfform gwenithfaen ar fwrdd gwaith y peiriant mesur a defnyddiwch y chwiliedydd i gasglu data yn unffurf o bwyntiau mesur lluosog ar wyneb y platfform. Mae system y peiriant mesur yn prosesu ac yn dadansoddi'r data hyn i gynhyrchu adroddiad gwastadrwydd o'r platfform. Gall y dull hwn nid yn unig ganfod gwastadrwydd, ond hefyd gael paramedrau geometrig eraill y platfform ar yr un pryd, ac mae'n addas ar gyfer canfod llwyfannau gwenithfaen mawr yn gynhwysfawr.
Gall meistroli'r dulliau canfod hyn eich helpu i asesu gwastadrwydd y platfform manwl gywirdeb gwenithfaen yn gywir a darparu gwarant ddibynadwy ar gyfer gweithrediad sefydlog offer manwl gywir.
Amser postio: Mai-29-2025