Ym maes gweithgynhyrchu pen uchel ac ymchwil wyddonol arloesol, mae modiwl symudiad hynod fanwl gywir y fflôt aer wedi dod yn offer allweddol ar gyfer gweithrediad a mesur manwl gyda'i berfformiad manwl rhagorol. Mae gan y sylfaen manwl gwenithfaen, fel y craidd cynnal, ofynion llym ar gyfer yr amgylchedd gwaith, a'r amodau amgylcheddol addas yw'r sail i sicrhau ei berfformiad sefydlog a'r effaith orau.
Yn gyntaf, rheoli tymheredd: "sefydlogydd" manwl gywir
Er bod gwenithfaen yn adnabyddus am ei sefydlogrwydd, nid yw'n gwbl imiwn i newidiadau tymheredd. Er bod ei gyfernod ehangu thermol yn isel, yn gyffredinol 5-7 ×10⁻⁶/℃, mewn senarios rheoli symudiad manwl iawn, gall amrywiadau tymheredd cynnil achosi newidiadau dimensiynol o hyd ac effeithio ar gywirdeb y modiwl. Yn y gweithdy gweithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, mae'r broses lithograffeg yn gofyn am gywirdeb lleoli lefel danami, ac mae'r tymheredd amgylchynol yn amrywio 1 ° C, a gall sylfaen y gwenithfaen gyda hyd ochr o 1 metr gynhyrchu ehangu neu grebachu llinol o 5-7 micron. Mae'r newid bach hwn yn cael ei drosglwyddo gan fodiwl symudiad manwl iawn y fflôt aer, sy'n ddigon i wneud i batrwm lithograffeg y sglodion wyrdroi a lleihau'r cynnyrch yn fawr. Felly, os oes gan y modiwl symudiad manwl iawn arnofiol sy'n defnyddio sylfaen gwenithfaen, dylid rheoli tymheredd yr amgylchedd gwaith delfrydol ar 20 ° C ± 1 ° C. Gyda chymorth offer tymheredd cyson manwl iawn, fel system aerdymheru tymheredd a lleithder cyson, dylid monitro ac addasu'r tymheredd amgylchynol yn barhaus, er mwyn sicrhau bod yr amrywiadau tymheredd mewn ystod fach iawn, yn cynnal sefydlogrwydd maint y sylfaen, ac yn sicrhau bod y modiwl yn gweithredu'n fanwl iawn.
Yn ail, rheoli lleithder: yr allwedd i amddiffyniad gwrth-leithder "carreg"
Mae lleithder yn ffactor pwysig arall sy'n effeithio ar berfformiad sylfaen gwenithfaen manwl gywir. Mewn amgylchedd lleithder uchel, mae gwenithfaen yn hawdd i amsugno anwedd dŵr, a all arwain at anwedd ar yr wyneb, sydd nid yn unig yn effeithio ar sefydlogrwydd cysylltiad y gwenithfaen a modiwl symudiad ultra-fanwl y fflôt aer, ond gall hefyd achosi erydiad arwyneb a lleihau sglein a chywirdeb yn y tymor hir. Yn y gweithdy malu lens optegol, os yw'r lleithder yn uwch na 60%RH am amser hir, bydd yr anwedd dŵr sy'n cael ei amsugno ar wyneb sylfaen y gwenithfaen yn ymyrryd â symudiad llithrydd y fflôt nwy, fel bod cywirdeb malu'r lens yn cael ei leihau, ac mae'r wyneb yn ddiffygiol. Felly, dylid rheoli lleithder cymharol yr amgylchedd gwaith yn llym rhwng 40%-60%RH, y gellir ei fonitro a'i addasu mewn amser real trwy osod dadleithyddion, synwyryddion lleithder ac offer arall i osgoi difrod i sylfaen y gwenithfaen oherwydd lleithder uchel, a sicrhau gweithrediad llyfn modiwl symudiad ultra-fanwl y fflôt aer.
Yn drydydd, gwarant glendid: "gwarcheidwad" cywirdeb
Ni ellir tanamcangyfrif niwed gronynnau llwch i sylfaen wenithfaen manwl gywir y modiwl symudiad ultra-fanwl o arnofio aer. Unwaith y bydd y gronynnau bach yn mynd i mewn i'r bwlch ffilm nwy rhwng y llithrydd arnofio nwy a sylfaen wenithfaen, gallant ddinistrio unffurfiaeth y ffilm nwy, cynyddu ffrithiant, a hyd yn oed grafu wyneb y sylfaen, gan arwain at ostyngiad mewn cywirdeb symud. Yn y gweithdy peiriannu ultra-fanwl rhannau awyrofod, os yw'r gronynnau llwch yn yr awyr yn disgyn ar sylfaen wenithfaen, gall llwybr symudiad yr offeryn peiriannu wyro, gan effeithio ar gywirdeb peiriannu'r rhannau. Felly, dylid cadw'r ardal waith yn lân iawn, gan gyrraedd lefelau glendid o 10,000 neu hyd yn oed yn uwch, trwy osod offer puro aer, megis hidlwyr aer effeithlonrwydd uchel (HEPA), hidlo'r gronynnau llwch yn yr awyr, ar yr un pryd, mae angen i staff wisgo dillad di-lwch, gorchuddion esgidiau, ac ati, i leihau'r llwch a ddaw gan bobl. Cynnal amgylchedd gweithredu manwl iawn sylfaen wenithfaen a modiwl symudiad ultra-fanwl arnofio aer.
Pedwar, ynysu dirgryniad: gweithrediad llyfn y "pad sioc"
Dirgryniad allanol yw gelyn cywirdeb modiwl symudiad manwl iawn y fflôt aer. Er bod gan y sylfaen gwenithfaen manwl gywir allu gwanhau dirgryniad penodol, gall y dirgryniad cryfder uchel dorri ei derfyn byffer o hyd. Mae'r dirgryniad a gynhyrchir gan y traffig o amgylch y ffatri a gweithrediad offer mecanyddol mawr yn cael ei drosglwyddo i'r sylfaen gwenithfaen trwy'r ddaear, a fydd yn ymyrryd â chywirdeb symudiad modiwl symudiad manwl iawn y fflôt aer. Mewn CMM pen uchel, gall dirgryniad achosi i'r cyswllt rhwng y chwiliedydd mesur a'r darn gwaith i'w fesur fod yn ansefydlog, gan arwain at wyriad yn y data mesur. Er mwyn datrys y broblem hon, mae angen mabwysiadu mesurau ynysu dirgryniad effeithiol, megis gosod padiau ynysu dirgryniad yn ardal gosod yr offer, adeiladu sylfaen ynysu dirgryniad, neu ddefnyddio system ynysu dirgryniad gweithredol i wrthbwyso dirgryniad allanol yn weithredol, a chreu amgylchedd gwaith tawel a sefydlog ar gyfer y sylfaen manwl gwenithfaen a'r modiwl symudiad manwl iawn fflôt aer.
Dim ond trwy fodloni gofynion amgylcheddol tymheredd, lleithder, glendid a rheoli dirgryniad yn llawn, gall sylfaen fanwl gywirdeb gwenithfaen modiwl symudiad ultra-fanwl y fflôt aer roi chwarae llawn i'w fanteision perfformiad, darparu gwarant ddibynadwy ar gyfer gweithrediadau ultra-fanwl mewn amrywiol feysydd, a helpu'r diwydiant i symud tuag at lefel gweithgynhyrchu ac ymchwil wyddonol uwch-fanwl gywir.
Amser postio: Ebr-08-2025