Mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r peiriant ffotolithograffeg yn ddyfais allweddol sy'n pennu cywirdeb sglodion, ac mae'r sylfaen gwenithfaen, gyda'i nodweddion lluosog, wedi dod yn elfen anhepgor o'r peiriant ffotolithograffeg.
Sefydlogrwydd thermol: Y "Darian" yn erbyn Newidiadau Tymheredd
Pan fydd peiriant ffotolithograffeg ar waith, mae'n cynhyrchu llawer iawn o wres. Gall hyd yn oed amrywiad tymheredd o ddim ond 0.1℃ achosi anffurfiad cydrannau'r offer ac effeithio ar gywirdeb y ffotolithograffeg. Mae cyfernod ehangu thermol gwenithfaen yn isel iawn, dim ond 4-8 × 10⁻⁶/℃, sydd tua 1/3 o gyfernod ehangu thermol dur ac 1/5 o gyfernod aloi alwminiwm. Mae hyn yn galluogi sylfaen y gwenithfaen i gynnal sefydlogrwydd dimensiynol pan fydd y peiriant ffotolithograffeg yn gweithredu am amser hir neu pan fydd tymheredd yr amgylchedd yn newid, gan sicrhau lleoliad manwl gywir cydrannau optegol a strwythurau mecanyddol.
Perfformiad gwrth-ddirgryniad gwych: Y "sbwng" sy'n amsugno dirgryniad
Mewn ffatri lled-ddargludyddion, gall gweithrediad offer cyfagos a symudiad pobl i gyd gynhyrchu dirgryniadau. Mae gan wenithfaen ddwysedd uchel a gwead caled, ac mae ganddo briodweddau dampio rhagorol, gyda chymhareb dampio 2 i 5 gwaith cymhareb metelau. Pan drosglwyddir dirgryniadau allanol i sylfaen y wenithfaen, mae'r ffrithiant rhwng y crisialau mwynau mewnol yn trosi'r egni dirgryniad yn egni gwres ar gyfer gwasgaru, a all leihau'r dirgryniad yn sylweddol mewn amser byr, gan ganiatáu i'r peiriant ffotolithograffeg adfer sefydlogrwydd yn gyflym ac osgoi aneglurder neu gamliniad y patrwm ffotolithograffeg oherwydd dirgryniad.
Sefydlogrwydd cemegol: "Gwarcheidwad" Amgylchedd Glân
Mae tu mewn peiriant ffotolithograffeg yn dod i gysylltiad ag amrywiol gyfryngau cemegol, ac mae deunyddiau metel cyffredin yn dueddol o gyrydu neu ryddhau gronynnau. Mae gwenithfaen wedi'i gyfansoddi o fwynau fel cwarts a ffelsbar. Mae ganddo briodweddau cemegol sefydlog a gwrthiant cyrydiad cryf. Ar ôl cael ei socian mewn toddiannau asid ac alcali, mae'r cyrydiad arwyneb yn fach iawn. Yn y cyfamser, mae ei strwythur trwchus yn cynhyrchu bron dim malurion na llwch, gan fodloni gofynion y safonau ystafell lân uchaf a lleihau'r risg o halogiad wafer.
Addasrwydd prosesu: Y "deunydd delfrydol" ar gyfer creu meincnodau manwl gywir
Mae angen gosod cydrannau craidd y peiriant ffotolithograffeg ar arwyneb cyfeirio manwl iawn. Mae strwythur mewnol gwenithfaen yn unffurf ac mae'n hawdd ei brosesu i gywirdeb eithriadol o uchel trwy falu, sgleinio a thechnegau eraill. Gall ei wastadrwydd gyrraedd ≤0.5μm/m, ac mae garwedd yr arwyneb Ra yn ≤0.05μm, gan ddarparu sail osod fanwl gywir ar gyfer cydrannau fel lensys optegol.
Oes hir a heb waith cynnal a chadw: Yr "offer miniog" ar gyfer lleihau costau
O'i gymharu â deunyddiau metel sy'n dueddol o flinder a chracio dros ddefnydd hirdymor, prin y mae gwenithfaen yn cael ei anffurfio'n blastig na'i dorri o dan lwythi arferol, ac nid oes angen triniaeth arwyneb arno, gan osgoi'r risg o blicio a halogi'r cotio. Mewn cymwysiadau ymarferol, ar ôl cael ei ddefnyddio am flynyddoedd lawer, gall dangosyddion perfformiad allweddol sylfaen gwenithfaen barhau i fod yn sefydlog, gan leihau costau gweithredu a chynnal a chadw'r offer.
O sefydlogrwydd thermol, ymwrthedd i ddirgryniad i anadweithioldeb cemegol, mae nodweddion lluosog y sylfaen wenithfaen yn bodloni gofynion y peiriant ffotolithograffeg yn berffaith. Wrth i'r broses weithgynhyrchu sglodion barhau i ddatblygu tuag at gywirdeb uwch, bydd seiliau gwenithfaen yn parhau i chwarae rhan anhepgor ym maes gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion.
Amser postio: Mai-20-2025