Ym maes archwilio wafferi lled-ddargludyddion, mae purdeb yr amgylchedd ystafell lân yn uniongyrchol gysylltiedig â chynnyrch y cynnyrch. Wrth i gywirdeb prosesau gweithgynhyrchu sglodion barhau i wella, mae'r gofynion ar gyfer llwyfannau cario offer canfod yn dod yn fwyfwy llym. Mae llwyfannau gwenithfaen, gyda'u nodweddion o ryddhau sero ïon metel a llygredd gronynnau isel, wedi rhagori ar ddeunyddiau dur di-staen traddodiadol ac wedi dod yn ateb dewisol ar gyfer offer archwilio wafferi.
Mae gwenithfaen yn graig igneaidd naturiol sy'n cynnwys yn bennaf fwynau anfetelaidd fel cwarts, ffelsbar a mica. Mae'r nodwedd hon yn rhoi'r fantais iddo o ryddhau sero ïonau metel. Mewn cyferbyniad, mae dur di-staen, fel aloi o fetelau fel haearn, cromiwm a nicel, yn dueddol o gyrydiad electrocemegol ar ei wyneb oherwydd erydiad anwedd dŵr a nwyon asidig neu alcalïaidd mewn amgylchedd ystafell lân, gan arwain at waddodiad ïonau metel fel Fe²⁺ a Cr³⁺. Unwaith y bydd yr ïonau bach hyn yn glynu wrth wyneb y wafer, byddant yn newid priodweddau trydanol y deunydd lled-ddargludyddion mewn prosesau dilynol fel ffotolithograffeg ac ysgythru, yn achosi drifft foltedd trothwy'r transistor, a hyd yn oed yn arwain at gylchedau byr yn y gylched. Mae data profion sefydliad proffesiynol yn dangos, ar ôl i'r platfform gwenithfaen gael ei amlygu'n barhaus i amgylchedd tymheredd a lleithder ystafell lân efelychiedig (23±0.5℃, 45%±5% RH) am 1000 awr, bod rhyddhau ïonau metel yn is na'r terfyn canfod (< 0.1ppb). Gall cyfradd diffygion wafers a achosir gan halogiad ïonau metel wrth ddefnyddio llwyfannau dur di-staen fod mor uchel â 15% i 20%.
O ran rheoli halogiad gronynnau, mae llwyfannau gwenithfaen hefyd yn perfformio'n eithriadol o dda. Mae gan ystafelloedd glân ofynion eithriadol o uchel ar gyfer crynodiad gronynnau crog yn yr awyr. Er enghraifft, mewn ystafelloedd glân Dosbarth ISO 1, nid yw nifer y gronynnau 0.1μm a ganiateir fesul metr ciwbig yn fwy na 10. Hyd yn oed os yw'r llwyfan dur di-staen wedi cael triniaeth sgleinio, gall barhau i gynhyrchu malurion metel neu raddfa ocsid yn pilio oherwydd grymoedd allanol fel dirgryniad offer a gweithrediad personél, a all ymyrryd â'r llwybr optegol canfod neu grafu wyneb y wafer. Nid yw llwyfannau gwenithfaen, gyda'u strwythur mwynau trwchus (dwysedd ≥2.7g/cm³) a'u caledwch uchel (6-7 ar raddfa Mohs), yn dueddol o wisgo na thorri yn ystod defnydd hirdymor. Mae mesuriadau wedi'u mesur yn dangos y gallant leihau crynodiad gronynnau crog yn awyr ardal yr offer canfod mwy na 40% o'i gymharu â llwyfannau dur di-staen, gan gynnal safonau gradd yr ystafell lân yn effeithiol.
Yn ogystal â'i nodweddion glân, mae perfformiad cynhwysfawr llwyfannau gwenithfaen hefyd yn llawer gwell na pherfformiad dur di-staen. O ran sefydlogrwydd thermol, dim ond (4-8) ×10⁻⁶/℃ yw ei gyfernod ehangu thermol, llai na hanner cyfernod dur di-staen (tua 17 × 10⁻⁶/℃), a all gynnal cywirdeb lleoli'r offer canfod yn well pan fydd y tymheredd yn yr ystafell lân yn amrywio. Gall y nodwedd dampio uchel (cymhareb dampio > 0.05) wanhau dirgryniad yr offer yn gyflym ac atal y chwiliedydd canfod rhag ysgwyd. Mae ei wrthwynebiad cyrydiad naturiol yn ei alluogi i aros yn sefydlog hyd yn oed pan fydd yn agored i doddyddion ffotoresist, nwyon ysgythru a chemegau eraill heb yr angen am amddiffyniad cotio ychwanegol.
Ar hyn o bryd, defnyddir llwyfannau gwenithfaen yn helaeth mewn gweithfeydd gweithgynhyrchu wafer uwch. Mae data'n dangos, ar ôl mabwysiadu'r llwyfan gwenithfaen, fod y gyfradd gamfarnu ar gyfer canfod gronynnau arwyneb wafer wedi gostwng 60%, bod cylch calibradu'r offer wedi'i ymestyn dair gwaith, ac mae'r gost gynhyrchu gyffredinol wedi gostwng 25%. Wrth i'r diwydiant lled-ddargludyddion symud tuag at gywirdeb uwch, bydd llwyfannau gwenithfaen, gyda'u manteision craidd fel rhyddhau sero ïon metel a llygredd gronynnau isel, yn parhau i ddarparu cefnogaeth sefydlog a dibynadwy ar gyfer archwilio wafer, gan ddod yn rym pwysig sy'n gyrru cynnydd y diwydiant.
Amser postio: Mai-20-2025