Ym meysydd arbrofion optegol manwl gywir a gweithgynhyrchu pen uchel, mae sefydlogrwydd onglog ar lefel 0.01μrad yn ddangosydd allweddol. Mae llwyfannau optegol gwenithfaen, gyda'u priodweddau deunydd a'u synergedd technolegol, wedi dod yn gludwr craidd ar gyfer cyflawni manwl gywirdeb uwch-uchel.
Mae manteision deunyddiau yn gosod sylfaen sefydlog. Mae gwenithfaen, fel craig igneaidd a ffurfiwyd gan ddaeareg dros gannoedd o filiynau o flynyddoedd, yn enwog am ei gyfernod ehangu thermol hynod isel, sydd ond hanner cyfernod dur ac un rhan o bedair cyfernod alwminiwm. Pan fydd y tymheredd yn newid 1 ℃, mae'r gydran gwenithfaen 1 metr o hyd yn ehangu dim ond 6 micrometr, tra bod y gydran alwminiwm yn ehangu 23 micrometr. Mae hyn yn osgoi'r gwyriad onglog a achosir gan anffurfiad thermol yn effeithiol. Yn y cyfamser, gall ei berfformiad dampio rhagorol wanhau dirgryniadau allanol yn gyflym, gan gadw'r platfform mewn cyflwr statig a lleihau ymyrraeth â chydrannau optegol.
Mae'r dyluniad strwythurol manwl gywir yn gwella anhyblygedd. Mae'r platfform optegol gwenithfaen, ar ôl dyluniad strwythur mecanyddol wedi'i optimeiddio, wedi gwella anhyblygedd yn sylweddol a gall wrthsefyll anffurfiad llwyth yn effeithiol. Mae ei gywirdeb prosesu arwyneb yn cyrraedd y lefel uchaf yn y diwydiant. Gan gymryd y cywirdeb lefel 00 sy'n bodloni safon GB4987-85 fel enghraifft, dim ond 2 × (1 + d / 1000) μm yw'r goddefgarwch gwastadedd (d yw'r hyd croeslin), gan ddarparu cyfeirnod gosod hynod wastad ar gyfer offer optegol.
Cyflawnir calibradu deinamig trwy gydweithrediad technolegol. Pan fydd wedi'i gyfarparu â systemau ynysu dirgryniad uwch fel sbringiau aer neu lefiad magnetig, gall y platfform gwenithfaen ynysu dirgryniadau amledd isel ac amledd uchel. Wedi'i ategu gan offer mesur manwl gywir fel interferomedrau laser, caiff y newidiadau Ongl eu monitro mewn amser real. Unwaith y bydd y gwyriad yn fwy na'r trothwy o 0.01μrad, mae'r system rheoli adborth yn gyrru'r mecanwaith mireinio ar unwaith ar gyfer cywiriad i sicrhau bod y platfform bob amser mewn cyflwr manwl gywir a sefydlog.
O hanfod y deunydd i rymuso technolegol, mae'r platfform optegol gwenithfaen, gyda sefydlogrwydd thermol, ymwrthedd dirgryniad a manteision prosesu manwl gywirdeb fel ei graidd, ynghyd â thechnoleg rheoli deallus, wedi torri trwy'r trothwy manwl gywirdeb 0.01μrad yn llwyddiannus ac fe'i defnyddir yn helaeth mewn meysydd arloesol fel ffotolithograffeg, arsylwi seryddol a mesur laser, gan hyrwyddo ymchwil a gweithgynhyrchu opteg manwl gywirdeb uchel i uchder newydd.
Amser postio: Mai-23-2025