Ym myd manwl gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae profi nad yw'n ddinistriol ar wafferi yn gyswllt allweddol i sicrhau ansawdd sglodion. Y sylfaen wenithfaen sy'n ymddangos yn ddibwys yw'r "arwr anhysbys" sy'n pennu cywirdeb y canfod mewn gwirionedd. Sut ar y ddaear mae'n effeithio ar ganlyniadau'r profion? Bydd yr erthygl hon yn cynnal dadansoddiad manwl o ddimensiynau fel priodweddau deunydd a dyluniad strwythurol.
1. Sylfaen Sefydlog: Mae manteision naturiol gwenithfaen yn gosod sylfaen gadarn ar gyfer cywirdeb
1. Perfformiad seismig rhagorol
Yn ystod gweithrediad yr offer profi nad yw'n ddinistriol ar gyfer wafers, bydd cylchdro'r modur a symudiad cydrannau mecanyddol i gyd yn cynhyrchu dirgryniadau. Os na chaiff y dirgryniadau hyn eu hatal yn effeithiol, byddant yn ymyrryd yn ddifrifol â chywirdeb y prawf. Mae tu mewn i wenithfaen wedi'i blethu'n agos â chrisialau mwynau fel cwarts a ffelsbar. Mae ei strwythur unigryw yn rhoi capasiti amsugno dirgryniad naturiol iddo, sy'n gallu amsugno dros 90% o egni dirgryniad yr offer. Mae data mesur gwirioneddol gwneuthurwr lled-ddargludyddion penodol yn dangos, ar ôl defnyddio'r sylfaen wenithfaen, bod osgled dirgryniad yr offer canfod wedi'i leihau o 12μm i 2μm, gan osgoi'r gwyriad yn y signal canfod a achosir gan ddirgryniad yn effeithiol.
2. Cyfernod ehangu thermol hynod o isel
Yn ystod y broses ganfod, bydd ffactorau fel gwresogi offer a newidiadau yn nhymheredd yr amgylchedd i gyd yn effeithio ar sefydlogrwydd sylfaen y peiriant. Mae deunyddiau cyffredin yn ehangu'n sylweddol wrth eu gwresogi, ond dim ond 1/5 o gyfernod ehangu thermol dur yw cyfernod ehangu thermol gwenithfaen. Hyd yn oed os yw'r tymheredd amgylchynol yn amrywio 10℃, gellir anwybyddu ei anffurfiad. Mae hyn yn galluogi sylfaen y gwenithfaen i ddarparu platfform cyfeirio sefydlog ar gyfer yr offer archwilio, gan sicrhau bod y safle cymharol rhwng y chwiliedydd archwilio a'r wafer yn parhau'n gywir bob amser ac osgoi gwallau archwilio a achosir gan anffurfiad thermol.
Yn ail, dyluniad manwl gywir: Mae optimeiddio strwythurol yn gwella dibynadwyedd canfod ymhellach.
Prosesu manwl gywir a gwarant gwastadrwydd
Mae'r sylfaen gwenithfaen o ansawdd uchel yn cael ei phrosesu gan dechnoleg CNC cysylltu pum echel uwch, gyda gwastadrwydd o ±0.5μm/m, gan ddarparu cyfeirnod gosod hynod wastad ar gyfer offer archwilio. Wrth archwilio wafer, mae fertigoldeb a lefelder y stiliwr archwilio yn hanfodol i ganlyniadau'r archwiliad. Gall sylfaen gwenithfaen manwl gywir sicrhau lleoliad manwl gywir y stiliwr, gan wneud y data archwilio yn fwy cywir a dibynadwy.
2. Addasiad strwythurol wedi'i deilwra
Gellir addasu sylfeini peiriannau gwenithfaen ar gyfer gwahanol offer profi nad ydynt yn ddinistriol ar gyfer wafers a gofynion prosesau. Er enghraifft, i fodloni gofynion offer archwilio optegol ar gyfer adlewyrchiad golau, gellir trin wyneb sylfaen y peiriant yn arbennig; I fodloni gofynion gosod offer profi uwchsonig, gellir gwneud y sylfaen ymlaen llaw gyda thyllau gosod manwl gywir a hambyrddau cebl, gan alluogi gosod yr offer yn gyflym ac yn gywir a lleihau gwyriadau canfod a achosir gan wallau gosod.
III. Sefydlogrwydd hirdymor: Lleihau colled cywirdeb a achosir gan gynnal a chadw offer
Mae gan wenithfaen galedwch uchel a gwrthiant cryf i wisgo, gyda chaledwch Mohs o 6 i 7, sydd dair gwaith yn fwy na gwrthiant gwisgo dur cyffredin. Yn ystod gweithrediadau archwilio hirdymor, nid yw wyneb sylfaen y peiriant yn dueddol o wisgo a gall bob amser gynnal cyflwr cywirdeb da. Mewn cyferbyniad, gall y seiliau a wneir o ddeunyddiau eraill achosi newidiadau yng nghyfeirnod gosod yr offer oherwydd gwisgo a rhwygo, a thrwy hynny effeithio ar gywirdeb y canfod a gofyn am galibro a chynnal a chadw mynych. Mae oes gwasanaeth hir a sefydlogrwydd uchel sylfaen wenithfaen yn lleihau amlder cynnal a chadw offer yn effeithiol ac yn lleihau'r risg o golli cywirdeb a all ddigwydd yn ystod y broses gynnal a chadw.
O wrthwynebiad i sioc, gwrthsefyll gwres i ddyluniad manwl gywir, mae pob nodwedd o'r sylfaen wenithfaen yn diogelu cywirdeb profion annistrywiol wafferi. Yn oes gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion heddiw sy'n mynd ar drywydd cywirdeb eithaf, mae dewis sylfaen wenithfaen o ansawdd uchel fel ychwanegu haen gadarn o yswiriant at gywirdeb a dibynadwyedd canlyniadau'r profion.
Amser postio: 18 Mehefin 2025