Defnyddir sylfaen peiriant gwenithfaen yn helaeth yn y diwydiant gweithgynhyrchu, yn enwedig yn y diwydiant prosesu wafferi. Mae'n rhan hanfodol o'r peiriannau ar gyfer prosesu'r wafferi yn effeithlon ac yn gywir. Mae cydosod, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen yn gofyn am sylw i fanylion ac arbenigedd. Yn yr erthygl hon, byddwn yn disgrifio'r canllaw cam wrth gam i gydosod, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen ar gyfer cynhyrchion prosesu wafferi.
1. Cydosod Sylfaen y Peiriant Gwenithfaen
Y cam cyntaf i gydosod sylfaen peiriant gwenithfaen yw paratoi'r holl gydrannau angenrheidiol a sicrhau eu hansawdd. Gall y cydrannau ar gyfer sylfaen peiriant gwenithfaen gynnwys slab gwenithfaen, ffrâm alwminiwm, padiau lefelu, a bolltau. Dyma'r camau i gydosod sylfaen peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Rhowch y slab gwenithfaen ar arwyneb gwastad a glân.
Cam 2 - Cysylltwch y ffrâm alwminiwm o amgylch y slab gwenithfaen gan ddefnyddio bolltau a gwnewch yn siŵr bod y ffrâm yn wastad ag ymylon y gwenithfaen.
Cam 3 - Gosodwch y padiau lefelu ar ochr waelod y ffrâm alwminiwm i sicrhau bod sylfaen y peiriant yn wastad.
Cam 4 - Tynhau'r holl folltau a gwnewch yn siŵr bod sylfaen y peiriant gwenithfaen yn gadarn ac yn sefydlog.
2. Profi Sylfaen y Peiriant Gwenithfaen
Ar ôl cydosod sylfaen y peiriant gwenithfaen, mae angen ei phrofi i sicrhau ei fod yn gweithio'n gywir. Mae profi sylfaen y peiriant gwenithfaen yn cynnwys gwirio ei lefel, ei gwastadrwydd a'i sefydlogrwydd. Dyma'r camau i brofi sylfaen y peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Defnyddiwch lefel fanwl gywir i wirio lefel sylfaen y peiriant trwy ei gosod ar wahanol bwyntiau ar y slab gwenithfaen.
Cam 2 - Defnyddiwch ymyl syth neu blât arwyneb i wirio gwastadrwydd sylfaen y peiriant trwy ei osod ar wahanol bwyntiau o'r slab gwenithfaen. Dylai'r goddefgarwch gwastadrwydd fod yn llai na 0.025mm.
Cam 3 - Rhowch lwyth ar sylfaen y peiriant i wirio ei sefydlogrwydd. Ni ddylai'r llwyth achosi unrhyw anffurfiad na symudiad yn sylfaen y peiriant.
3. Calibradu Sylfaen y Peiriant Gwenithfaen
Mae calibro sylfaen y peiriant gwenithfaen yn cynnwys addasu cywirdeb lleoli'r peiriant a'i alinio â chydrannau eraill y peiriant i sicrhau'r perfformiad gorau. Dyma'r camau i galibro sylfaen y peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Gosodwch yr offerynnau mesur fel platfform optegol neu system interferomedr laser ar waelod y peiriant gwenithfaen.
Cam 2 - Perfformiwch gyfres o brofion a mesuriadau i bennu gwallau a gwyriadau lleoli'r peiriant.
Cam 3 - Addaswch baramedrau lleoli'r peiriant i leihau'r gwallau a'r gwyriadau.
Cam 4 - Gwnewch wiriad terfynol i sicrhau bod sylfaen y peiriant wedi'i graddnodi'n gywir, ac nad oes unrhyw wall na gwyriad yn y mesuriadau.
Casgliad
I gloi, mae cydosod, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen ar gyfer cynhyrchion prosesu wafer yn hanfodol ar gyfer cyflawni cywirdeb a manylder uchel yn y broses weithgynhyrchu. Gyda'r cydrannau, yr offer a'r arbenigedd angenrheidiol, bydd dilyn y camau a ddisgrifir uchod yn sicrhau bod sylfaen y peiriant gwenithfaen yn cael ei chydosod, ei phrofi a'i graddnodi'n gywir. Bydd sylfaen peiriant gwenithfaen sydd wedi'i hadeiladu a'i graddnodi'n dda yn darparu canlyniadau effeithlon a chywir mewn cynhyrchion prosesu wafer.
Amser postio: Tach-07-2023