Defnyddir sylfaen peiriannau gwenithfaen yn helaeth yn y diwydiant gweithgynhyrchu, yn enwedig yn y diwydiant prosesu wafer. Mae'n rhan hanfodol o'r peiriannau ar gyfer prosesu'r wafferi yn effeithlon ac yn gywir. Mae angen rhoi sylw i fanylion ac arbenigedd ar gyfer cydosod, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen. Yn yr erthygl hon, byddwn yn disgrifio'r canllaw cam wrth gam ar ymgynnull, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen ar gyfer cynhyrchion prosesu wafer.
1. Cydosod sylfaen y peiriant gwenithfaen
Y cam cyntaf i ymgynnull sylfaen peiriant gwenithfaen yw paratoi'r holl gydrannau angenrheidiol a sicrhau eu hansawdd. Gall y cydrannau ar gyfer sylfaen peiriant gwenithfaen gynnwys slab gwenithfaen, ffrâm alwminiwm, padiau lefelu, a bolltau. Dyma'r camau i ymgynnull sylfaen peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Rhowch y slab gwenithfaen ar wyneb gwastad a glân.
Cam 2 - Atodwch y ffrâm alwminiwm o amgylch y slab gwenithfaen gan ddefnyddio bolltau a sicrhau bod y ffrâm yn fflysio ag ymylon y gwenithfaen.
Cam 3 - Gosodwch y padiau lefelu ar ochr waelod y ffrâm alwminiwm i sicrhau bod sylfaen y peiriant yn wastad.
Cam 4 - Tynhau'r holl folltau a gwnewch yn siŵr bod sylfaen y peiriant gwenithfaen yn gadarn ac yn sefydlog.
2. Profi'r Sylfaen Peiriant Gwenithfaen
Ar ôl cydosod sylfaen y peiriant gwenithfaen, mae angen ei brofi i sicrhau ei fod yn gweithio'n gywir. Mae profi sylfaen peiriant gwenithfaen yn cynnwys gwirio ei lefelwch, gwastadrwydd a'i sefydlogrwydd. Dyma'r camau i brofi'r sylfaen peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Defnyddiwch lefel fanwl i wirio lefelwch sylfaen y peiriant trwy ei roi ar wahanol bwyntiau'r slab gwenithfaen.
Cam 2 - Defnyddiwch ymyl syth neu blât wyneb i wirio gwastadrwydd sylfaen y peiriant trwy ei roi ar wahanol bwyntiau'r slab gwenithfaen. Dylai'r goddefgarwch gwastadrwydd fod yn llai na 0.025mm.
Cam 3 - Rhowch lwyth i sylfaen y peiriant i wirio ei sefydlogrwydd. Ni ddylai'r llwyth achosi unrhyw ddadffurfiad na symud yn sylfaen y peiriant.
3. graddnodi'r sylfaen peiriant gwenithfaen
Mae graddnodi'r sylfaen peiriant gwenithfaen yn cynnwys addasu cywirdeb lleoliad y peiriant a'i alinio â chydrannau peiriant eraill i sicrhau'r perfformiad gorau. Dyma'r camau i raddnodi'r sylfaen peiriant gwenithfaen:
Cam 1 - Gosodwch yr offerynnau mesur fel platfform optegol neu system interferomedr laser ar sylfaen y peiriant gwenithfaen.
Cam 2 - Perfformio cyfres o brofion a mesuriadau i bennu gwallau a gwyriadau lleoli'r peiriant.
Cam 3 - Addaswch baramedrau lleoli'r peiriant i leihau'r gwallau a'r gwyriadau.
Cam 4 - Gwnewch wiriad terfynol i sicrhau bod sylfaen y peiriant yn cael ei graddnodi'n gywir, ac nid oes gwall na gwyriad yn y mesuriadau.
Nghasgliad
I gloi, mae cydosod, profi a graddnodi sylfaen peiriant gwenithfaen ar gyfer cynhyrchion prosesu wafer yn hanfodol ar gyfer sicrhau manwl gywirdeb a chywirdeb uchel yn y broses weithgynhyrchu. Gyda'r cydrannau, yr offer a'r arbenigedd angenrheidiol, bydd dilyn y camau a ddisgrifir uchod yn sicrhau bod sylfaen y peiriant gwenithfaen yn cael ei ymgynnull, ei phrofi a'i graddnodi'n gywir. Bydd sylfaen peiriant gwenithfaen wedi'i hadeiladu'n dda ac wedi'i graddnodi yn darparu canlyniadau effeithlon a chywir mewn cynhyrchion prosesu wafer.
Amser Post: Tach-07-2023