Mewn meysydd fel gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion ac offerynnau mesur manwl gywir, mae cywirdeb llwyfannau manwl gwenithfaen yn pennu ansawdd gweithredol yr offer yn uniongyrchol. Er mwyn sicrhau bod cywirdeb y llwyfan yn bodloni'r safonau, dylid gwneud ymdrechion o ddau agwedd: canfod dangosyddion allweddol a chydymffurfio â normau safonol.
Canfod dangosyddion craidd: Rheoli cywirdeb aml-ddimensiwn
Canfod gwastadrwydd: Penderfynu ar "wastadrwydd" y plân cyfeirio
Gwastadrwydd yw prif ddangosydd llwyfannau manwl gywirdeb gwenithfaen, ac fel arfer caiff ei fesur gan ymyrraeth laser neu lefelau electronig. Gall yr ymyrraeth laser fesur yn fanwl gywir y tonnau mân ar wyneb y llwyfan trwy allyrru trawst laser a defnyddio egwyddor ymyrraeth golau, gyda chywirdeb sy'n cyrraedd y lefel is-micron. Mae'r lefel electronig yn mesur trwy symud sawl gwaith ac yn llunio map cyfuchlin tri dimensiwn o wyneb y llwyfan i ganfod a oes unrhyw ymwthiadau neu bantiau lleol. Er enghraifft, mae'n ofynnol i'r llwyfannau gwenithfaen a ddefnyddir mewn peiriannau ffotolithograffeg lled-ddargludyddion fod â gwastadrwydd o ±0.5μm/m, sy'n golygu na ddylai'r gwahaniaeth uchder o fewn hyd 1 metr fod yn fwy na hanner micromedr. Dim ond trwy offer canfod manwl iawn y gellir sicrhau'r safon lem hon.
2. Canfod sythder: Sicrhewch "sythder" y symudiad llinol
Ar gyfer llwyfannau sy'n cario rhannau symudol manwl gywir, mae sythder o bwys hanfodol. Y dulliau cyffredin ar gyfer canfod yw'r dull gwifren neu'r colimadwr laser. Mae'r dull gwifren yn cynnwys atal gwifrau dur manwl iawn a chymharu'r bwlch rhwng wyneb y llwyfan a'r gwifrau dur i bennu'r sythder. Mae'r colimadwr laser yn defnyddio nodweddion lledaeniad llinol laser i ganfod gwall llinol wyneb gosod rheilen ganllaw'r llwyfan. Os nad yw'r sythder yn bodloni'r safon, bydd yn achosi i'r offer symud yn ystod symudiad, gan effeithio ar gywirdeb y prosesu neu'r mesur.
3. Canfod garwedd arwyneb: Sicrhewch "fanwldeb" y cyswllt
Mae garwedd wyneb y platfform yn effeithio ar ffit gosod cydrannau. Yn gyffredinol, defnyddir mesurydd garwedd stylus neu ficrosgop optegol i'w ganfod. Mae'r offeryn math stylus yn cofnodi'r newidiadau uchder yn y proffil microsgopig trwy gysylltu ag wyneb y platfform â chwiliedydd mân. Gall microsgopau optegol arsylwi gwead yr wyneb yn uniongyrchol. Mewn cymwysiadau manwl gywir, mae angen rheoli garwedd wyneb platfformau gwenithfaen ar Ra≤0.05μm, sy'n cyfateb i effaith debyg i ddrych, gan sicrhau bod cydrannau manwl gywir yn ffitio'n dynn yn ystod y gosodiad ac osgoi dirgryniad neu ddadleoliad a achosir gan fylchau.
Mae'r safonau manwl gywirdeb yn dilyn: normau rhyngwladol a rheolaeth fewnol y fenter
Ar hyn o bryd, yn rhyngwladol, defnyddir safonau ISO 25178 a GB/T 24632 yn gyffredin fel sail ar gyfer pennu cywirdeb llwyfannau gwenithfaen, ac mae dosbarthiadau clir ar gyfer dangosyddion fel gwastadrwydd a sythrwydd. Yn ogystal, mae mentrau gweithgynhyrchu pen uchel yn aml yn gosod safonau rheoli mewnol mwy llym. Er enghraifft, mae'r gofyniad gwastadrwydd ar gyfer llwyfan gwenithfaen y peiriant ffotolithograffeg 30% yn uwch na'r safon ryngwladol. Wrth gynnal profion, dylid cymharu'r data a fesurir â'r safonau cyfatebol. Dim ond llwyfannau sy'n cydymffurfio'n llawn â'r safonau all sicrhau perfformiad sefydlog mewn offer manwl gywir.
Mae archwilio cywirdeb llwyfannau manwl gywirdeb gwenithfaen yn brosiect systematig. Dim ond trwy brofi dangosyddion craidd fel gwastadrwydd, sythder, a garwedd arwyneb yn llym, a glynu wrth safonau rhyngwladol a menter, y gellir gwarantu manwl gywirdeb a dibynadwyedd uchel y llwyfan, gan osod sylfaen gadarn ar gyfer meysydd gweithgynhyrchu pen uchel fel lled-ddargludyddion ac offerynnau manwl.
Amser postio: Mai-21-2025