Mae gan lwyfannau manwl gywirdeb gwenithfaen, gyda'u hanhyblygedd uchel, eu cyfernod ehangu isel, eu perfformiad dampio rhagorol a'u priodweddau gwrth-magnetig naturiol, werth cymhwysiad na ellir ei ailosod mewn meysydd gweithgynhyrchu ac ymchwil wyddonol pen uchel lle mae galw mawr am gywirdeb a sefydlogrwydd. Dyma ei senarios cymhwysiad craidd a'i fanteision technegol:
I. Maes offer prosesu manwl gywirdeb uwch
Offer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion
Senarios cymhwyso: Bwrdd darn gwaith peiriant lithograffeg, sylfaen peiriant disio wafer, platfform lleoli offer pecynnu.
Gwerth technegol:
Dim ond (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃ yw cyfernod ehangu thermol gwenithfaen, a all wrthsefyll yr amrywiad tymheredd yn ystod amlygiad nanosgâl y peiriant lithograffeg (gwall dadleoli <0.1nm mewn amgylchedd o ±0.1℃).
Mae'r strwythur micro-fandwll mewnol yn ffurfio dampio naturiol (cymhareb dampio 0.05 i 0.1), gan atal y dirgryniad (osgled < 2μm) yn ystod torri cyflym gan y peiriant disio a sicrhau bod garwedd ymyl Ra y toriad wafer yn llai nag 1μm.
2. Peiriannau Malu Manwl a Pheiriannau Mesur Cyfesurynnau (CMM)
Achos cais:
Mae sylfaen y peiriant mesur tair-cydlynol yn mabwysiadu strwythur gwenithfaen annatod, gyda gwastadrwydd o ±0.5μm/m. Ynghyd â'r rheilen ganllaw sy'n arnofio yn yr awyr, mae'n cyflawni cywirdeb symudiad lefel nano (cywirdeb lleoli ailadroddus ±0.1μm).
Mae bwrdd gwaith y peiriant malu optegol yn mabwysiadu strwythur cyfansawdd o wenithfaen a dur arian. Wrth falu gwydr K9, mae tonnau'r wyneb yn llai na λ/20 (λ=632.8nm), gan fodloni gofynion prosesu llyfn iawn lensys laser.
Ii. Maes Opteg a Ffotonig
Telesgopau seryddol a systemau laser
Cymwysiadau nodweddiadol:
Mae platfform cynnal arwyneb adlewyrchol y telesgop radio mawr yn mabwysiadu strwythur diliau gwenithfaen, sy'n ysgafn o ran pwysau personol (dwysedd 2.7g/cm³) ac sydd â gwrthiant cryf i ddirgryniad gwynt (anffurfiad <50μm o dan wynt 10 lefel).
Mae platfform optegol yr interferomedr laser yn defnyddio gwenithfaen micro-fandyllog. Mae'r adlewyrchydd wedi'i osod trwy amsugno gwactod, gyda gwall gwastadedd o lai na 5nm, gan sicrhau sefydlogrwydd arbrofion optegol manwl iawn fel canfod tonnau disgyrchiant.
2. Prosesu cydrannau optegol manwl gywir
Manteision technegol:
Mae athreiddedd magnetig a dargludedd trydanol y platfform gwenithfaen yn agos at sero, gan osgoi dylanwad ymyrraeth electromagnetig ar brosesau manwl fel sgleinio trawst ïon (IBF) a sgleinio magnetorheolegol (MRF). Gall gwerth PV cywirdeb siâp arwyneb y lens asffigol wedi'i brosesu gyrraedd λ/100.
III. Arolygu Awyrofod a Manwldeb
Platfform archwilio cydrannau awyrenneg
Senarios cymhwyso: Archwiliad tri dimensiwn o lafnau awyrennau, mesur goddefiannau siâp a safle cydrannau strwythurol aloi alwminiwm awyrennau.
Perfformiad allweddol:
Mae wyneb y platfform gwenithfaen yn cael ei drin â chorydiad electrolytig i ffurfio patrymau mân (gyda garwedd o Ra 0.4-0.8μm), sy'n addas ar gyfer chwiliedyddion sbardun manwl gywir, ac mae'r gwall wrth ganfod proffil y llafn yn llai na 5μm.
Gall wrthsefyll llwyth o dros 200kg o gydrannau awyrennau, ac mae'r newid gwastadrwydd ar ôl defnydd hirdymor yn llai na 2μm/m, gan fodloni gofynion cynnal a chadw manwl gywirdeb Gradd 10 yn y diwydiant awyrofod.
2. Calibradu cydrannau llywio anadweithiol
Gofynion technegol: Mae calibradu statig dyfeisiau anadweithiol fel gyrosgopau a chyflymmedrau yn gofyn am blatfform cyfeirio hynod sefydlog.
Datrysiad: Mae'r platfform gwenithfaen wedi'i gyfuno â system ynysu dirgryniad gweithredol (amledd naturiol < 1Hz), gan gyflawni calibradu manwl gywir o sefydlogrwydd gwrthbwyso sero cydrannau anadweithiol < 0.01°/awr mewn amgylchedd gyda chyflymiad dirgryniad < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanotechnoleg a Biofeddygaeth
Platfform microsgop chwiliedydd sganio (SPM)
Swyddogaeth graidd: Fel y sylfaen ar gyfer microsgopeg grym atomig (AFM) a microsgopeg twnelu sganio (STM), mae angen ei ynysu oddi wrth ddirgryniadau amgylcheddol a drifft thermol.
Dangosyddion perfformiad:
Gall y platfform gwenithfaen, ar y cyd â choesau ynysu dirgryniad niwmatig, leihau cyfradd trosglwyddo dirgryniadau allanol (1-100Hz) i lai na 5%, gan gyflawni delweddu lefel atomig o AFM yn yr amgylchedd atmosfferig (datrysiad < 0.1nm).
Mae'r sensitifrwydd tymheredd yn llai na 0.05μm/℃, sy'n bodloni'r gofynion ar gyfer arsylwi samplau biolegol ar raddfa nano mewn amgylchedd tymheredd cyson (37℃±0.1℃).
2. Offer pecynnu biosglodion
Achos cymhwysiad: Mae'r platfform alinio manwl gywir ar gyfer sglodion dilyniannu DNA yn mabwysiadu rheiliau canllaw gwenithfaen sy'n arnofio yn yr awyr, gyda chywirdeb lleoli o ±0.5μm, gan sicrhau bondio is-micron rhwng y sianel microfluidig a'r electrod canfod.
V. Senarios Cymwysiadau sy'n Dod i'r Amlwg
Sylfaen offer cyfrifiadura cwantwm
Heriau technegol: Mae trin cwbit yn gofyn am dymheredd isel iawn (lefel mK) ac amgylchedd mecanyddol hynod sefydlog.
Datrysiad: Gall priodwedd ehangu thermol isel iawn gwenithfaen (cyfradd ehangu < 1ppm o -200 ℃ i dymheredd ystafell) gydweddu â nodweddion crebachu magnetau uwchddargludol tymheredd isel iawn, gan sicrhau cywirdeb aliniad wrth becynnu sglodion cwantwm.
2. System Lithograffi Trawst Electron (EBL)
Perfformiad allweddol: Mae priodwedd inswleiddio'r platfform gwenithfaen (gwrthedd > 10¹³Ω · m) yn atal gwasgariad trawst electronau. Wedi'i gyfuno â'r gyriant werthyd electrostatig, mae'n cyflawni ysgrifennu patrwm lithograffeg manwl iawn gyda lled llinell nanosgâl (< 10nm).
Crynodeb
Mae cymhwysiad llwyfannau manwl gywirdeb gwenithfaen wedi ymestyn o beiriannau manwl gywirdeb traddodiadol i feysydd arloesol fel nanotechnoleg, ffiseg cwantwm, a biofeddygaeth. Mae ei gystadleurwydd craidd yn gorwedd yn y cyplu dwfn rhwng priodweddau deunydd a gofynion peirianneg. Yn y dyfodol, gydag integreiddio technolegau atgyfnerthu cyfansawdd (megis nanogyfansoddion graffen-gwenithfaen) a thechnolegau synhwyro deallus, bydd llwyfannau gwenithfaen yn torri drwodd i gyfeiriadau cywirdeb lefel atomig, sefydlogrwydd ystod tymheredd lawn, ac integreiddio amlswyddogaethol, gan ddod yn gydrannau sylfaenol craidd sy'n cefnogi'r genhedlaeth nesaf o weithgynhyrchu uwch-fanwl gywir.
Amser postio: Mai-28-2025