Mae gwely gwenithfaen yn rhan bwysig mewn amrywiol ddyfeisiau lled -ddargludyddion. Fel deunydd hynod sefydlog ac anhyblyg, mae gwenithfaen yn cael ei ddefnyddio'n helaeth fel sylfaen ar gyfer offer prosesu lled -ddargludyddion. Fe'i nodweddir gan ei gyfernod ehangu thermol isel, sefydlogrwydd dimensiwn uchel, ac eiddo mecanyddol rhagorol. Oherwydd yr eiddo hyn, defnyddir gwely gwenithfaen yn fwyaf cyffredin mewn tri math gwahanol o ddyfeisiau lled -ddargludyddion - offer metroleg, offer lithograffeg, ac offer arolygu.
Defnyddir offer metroleg i fesur a chanfod dimensiynau critigol y dyfeisiau lled -ddargludyddion. Mae'n chwarae rhan hanfodol wrth gynnal ansawdd a chysondeb y broses weithgynhyrchu lled -ddargludyddion. Mae offer metroleg yn cynnwys offerynnau fel microsgopau optegol, microsgopau electron, a microsgopau grym atomig (AFMs). Gan fod perfformiad yr offerynnau mesur hyn yn dibynnu ar eu sefydlogrwydd, eu manwl gywirdeb a'u gwrthiant dirgryniad, gwenithfaen yw'r dewis delfrydol ar gyfer eu deunydd gwely. Mae unffurfiaeth a sefydlogrwydd y gwely gwenithfaen yn darparu platfform sefydlog ar gyfer yr offerynnau, sy'n gwella eu cywirdeb a'u dibynadwyedd.
Defnyddir offer lithograffeg i wneud y patrymau microsglodyn ar y wafer. Mae'r broses lithograffeg yn gofyn am lefel uchel o gywirdeb a chywirdeb i greu cylchedau cymhleth a gwella perfformiad sglodion. Mae'r offer lithograffeg yn cynnwys systemau stepiwr a sganiwr sy'n defnyddio golau i drosglwyddo delweddau i'r wafer. Gan fod y broses lithograffeg yn sensitif iawn i ddirgryniad a newidiadau thermol, mae gwely o ansawdd uchel yn hanfodol i sicrhau sefydlogrwydd ac ailadroddadwyedd y broses lithograffeg. Mae gwelyau gwenithfaen yn darparu'r sefydlogrwydd gofynnol a pherfformiad tampio dirgryniad llym ar gyfer systemau lithograffeg. Mae'r gwely gwenithfaen yn caniatáu i'r stepper neu'r system sganiwr gynnal perthnasoedd gofodol manwl gywir gan sicrhau cywirdeb uchel ac ansawdd cynnyrch terfynol.
Defnyddir offer arolygu i ganfod unrhyw ddiffygion yn y dyfeisiau lled -ddargludyddion. Mae offer arolygu yn cynnwys systemau fel microsgopau sganio laser, microsgopau electron, a microsgopau optegol. Gyda'r angen i'r dyfeisiau hyn fod yn gywir iawn, yn sefydlog ac yn gwrthsefyll dirgryniad, mae gwelyau gwenithfaen yn ddeunydd perffaith. Mae priodweddau mecanyddol gwenithfaen a sefydlogrwydd dimensiwn yn helpu i ynysu dirgryniad, sy'n gwella cywirdeb allbwn yr offer arolygu.
I gloi, mae gwely gwenithfaen yn hanfodol i'r diwydiant lled -ddargludyddion ac fe'i defnyddir yn helaeth mewn gwahanol fathau o offer. Mae ei briodweddau unigryw fel sefydlogrwydd dimensiwn, cyfernod ehangu thermol isel, a sefydlogrwydd mecanyddol rhagorol yn golygu mai gwenithfaen yw'r dewis delfrydol ar gyfer deunydd gwely offer lled -ddargludyddion. Gan fod y gwely gwenithfaen o ansawdd uchel yn darparu'r sefydlogrwydd, manwl gywirdeb a gwrthiant dirgryniad angenrheidiol i'r offer lled-ddargludyddion, yn y pen draw mae'n gwella ansawdd y cynnyrch terfynol. Felly, mae'r defnydd o wely gwenithfaen mewn offer lled -ddargludyddion yn sicr o barhau am flynyddoedd i ddod.
Amser Post: APR-03-2024