Yng nghadwyn fanwl gywir gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, mae'r system trosglwyddo wafer fel "rheol bywyd y llinell gynhyrchu sglodion", ac mae ei sefydlogrwydd a'i chywirdeb yn pennu cyfradd cynnyrch sglodion yn uniongyrchol. Mae'r genhedlaeth newydd o systemau trosglwyddo wafer yn cyfuno moduron llinol â sylfeini gwenithfaen yn chwyldroadol, a manteision unigryw deunyddiau gwenithfaen yw'r cod craidd yn union i ddatgloi trosglwyddiad perfformiad uchel.
Sylfaen gwenithfaen: Adeiladu "sylfaen gadarn fel craig" ar gyfer trosglwyddiad sefydlog
Mae gwenithfaen, ar ôl cael cannoedd o filiynau o flynyddoedd o fireinio daearegol, yn cynnwys crisialu mwynau mewnol dwys ac unffurf. Mae'r nodwedd naturiol hon yn ei wneud yn ddeunydd sylfaen delfrydol ar gyfer systemau trosglwyddo wafer. Yn amgylchedd cymhleth ystafelloedd glân lled-ddargludyddion, gall gwenithfaen, gyda'i gyfernod ehangu thermol isel iawn (dim ond 5-7 ×10⁻⁶/℃), wrthsefyll y gwres a gynhyrchir yn ystod gweithrediad offer a dylanwad newidiadau tymheredd amgylcheddol, gan sicrhau sefydlogrwydd maint y sylfaen ac osgoi'r gwyriad llwybr trosglwyddo a achosir gan anffurfiad thermol. Gall ei berfformiad dampio dirgryniad rhagorol amsugno'r dirgryniadau mecanyddol a gynhyrchir yn ystod cychwyn, cau a chyflymu moduron llinol yn gyflym, yn ogystal â'r ymyriadau allanol a ddaw yn sgil gweithrediad offer arall yn y gweithdy, gan ddarparu platfform sefydlog gyda "dim ysgwyd" ar gyfer trosglwyddo wafer.
Yn y cyfamser, mae sefydlogrwydd cemegol gwenithfaen yn sicrhau nad yw'n cyrydu nac yn rhydu mewn gweithdai lled-ddargludyddion lle mae adweithyddion asid ac alcali yn anwadal ac mae angen glendid uchel, gan osgoi'r effaith ar gywirdeb trosglwyddo oherwydd heneiddio deunydd neu amsugno llygryddion. Gall nodweddion yr wyneb llyfn a thrwchus leihau adlyniad llwch yn fwy effeithiol, gan fodloni safonau llym di-lwch ystafelloedd glân a dileu'r risg o halogiad wafer o'r gwreiddyn.
Effaith "partneriaeth aur" moduron llinol a gwenithfaen
Mae moduron llinol, gyda'u nodweddion o beidio â chael cliriad trosglwyddo mecanyddol, cyflymiad uchel a chyflymder ymateb uchel, yn rhoi manteision "cyflym, cywir a sefydlog" i drosglwyddiad wafer. Mae'r sylfaen wenithfaen yn darparu llwyfan cymorth cadarn a dibynadwy iddo. Mae'r ddau yn gweithio gyda'i gilydd i gyflawni naid mewn perfformiad. Pan fydd y modur llinol yn gyrru'r cludwr wafer i redeg ar drac sylfaen y wenithfaen, mae anhyblygedd a sefydlogrwydd cryf y sylfaen yn sicrhau trosglwyddiad effeithlon grym gyrru'r modur, gan osgoi colli grym neu oedi trosglwyddo a achosir gan anffurfiad sylfaen.
Wedi'i ysgogi gan y galw am gywirdeb nanosgâl, gall moduron llinol gyflawni rheolaeth dadleoli is-micron. Mae nodweddion prosesu manwl gywirdeb uchel sylfeini gwenithfaen (gyda gwallau gwastadrwydd wedi'u rheoli o fewn ±1μm) yn cyd-fynd yn berffaith â rheolaeth fanwl gywir moduron llinol, gan sicrhau ar y cyd fod y gwall lleoli yn ystod trosglwyddo wafer yn llai na ±5μm. Boed yn symud cyflym rhwng amrywiol offer prosesu neu'n barcio manwl gywir ar gyfer trosglwyddo wafer, gall y cyfuniad o foduron llinol a sylfeini gwenithfaen sicrhau "dim gwyriad a dim jitter" wrth drosglwyddo wafer.
Dilysu arfer diwydiant: Gwelliant deuol mewn effeithlonrwydd a chyfradd cynnyrch
Ar ôl uwchraddio ei system trosglwyddo wafer, mabwysiadodd menter lled-ddargludyddion fyd-eang flaenllaw ddatrysiad modur llinol + sylfaen gwenithfaen, a gynyddodd effeithlonrwydd trosglwyddo'r wafer 40%, lleihaodd gyfradd digwydd namau fel gwrthdrawiad a gwrthbwyso yn ystod y broses drosglwyddo 85%, a gwellodd gyfradd cynnyrch cyffredinol sglodion 6%. Y tu ôl i'r data mae'r warant o sefydlogrwydd trosglwyddo a ddarperir gan y sylfaen gwenithfaen ac effaith synergedd cyflymder uchel a manwl gywir y modur llinol, sy'n lleihau'r golled a'r gwall yn sylweddol yn y broses drosglwyddo wafer.
O briodweddau deunyddiau i weithgynhyrchu manwl gywir, o fanteision perfformiad i wirio ymarferol, mae'r cyfuniad o foduron llinol a sylfeini gwenithfaen wedi ailddiffinio safonau systemau trosglwyddo wafer. Yn y dyfodol pan fydd technoleg lled-ddargludyddion yn symud ymlaen tuag at brosesau 3nm a 2nm, bydd deunyddiau gwenithfaen yn sicr o barhau i roi hwb cryf i ddatblygiad y diwydiant gyda'u manteision anhepgor.
Amser postio: Mai-14-2025