1. Cywirdeb dimensiynol
Gwastadrwydd: dylai gwastadrwydd wyneb y sylfaen gyrraedd safon uchel iawn, ac ni ddylai'r gwall gwastadrwydd fod yn fwy na ±0.5μm mewn unrhyw ardal 100mm × 100mm; Ar gyfer yr awyren sylfaen gyfan, rheolir y gwall gwastadrwydd o fewn ±1μm. Mae hyn yn sicrhau y gellir gosod a gweithredu cydrannau allweddol offer lled-ddargludyddion, megis pen amlygiad yr offer lithograffeg a bwrdd chwiliedydd yr offer canfod sglodion, yn sefydlog ar awyren fanwl gywirdeb uchel, sicrhau cywirdeb y llwybr optegol a chysylltiad cylched yr offer, ac osgoi gwyriad dadleoli'r cydrannau a achosir gan awyren anwastad y sylfaen, sy'n effeithio ar gywirdeb gweithgynhyrchu a chanfod sglodion lled-ddargludyddion.
Sythder: Mae sythder pob ymyl o'r sylfaen yn hanfodol. Yng nghyfeiriad yr hyd, ni ddylai'r gwall sythder fod yn fwy na ±1μm fesul 1m; Rheolir y gwall sythder croeslin o fewn ±1.5μm. Gan gymryd peiriant lithograffeg manwl gywir fel enghraifft, pan fydd y bwrdd yn symud ar hyd rheilen ganllaw'r sylfaen, mae sythder ymyl y sylfaen yn effeithio'n uniongyrchol ar gywirdeb trywydd y bwrdd. Os nad yw'r sythder yn cyrraedd y safon, bydd y patrwm lithograffeg yn cael ei ystumio a'i ddadffurfio, gan arwain at ostyngiad yng nghynnyrch gweithgynhyrchu'r sglodion.
Paraleliaeth: Dylid rheoli gwall paraleliaeth arwynebau uchaf ac isaf y sylfaen o fewn ±1μm. Gall paraleliaeth dda sicrhau sefydlogrwydd canol disgyrchiant cyffredinol ar ôl gosod yr offer, a bod grym pob cydran yn unffurf. Mewn offer gweithgynhyrchu waffer lled-ddargludyddion, os nad yw arwynebau uchaf ac isaf y sylfaen yn baralel, bydd y waffer yn gogwyddo yn ystod y prosesu, gan effeithio ar unffurfiaeth y broses fel ysgythru a gorchuddio, ac felly'n effeithio ar gysondeb perfformiad y sglodion.
Yn ail, nodweddion deunydd
Caledwch: Dylai caledwch deunydd sylfaen gwenithfaen gyrraedd caledwch Shore HS70 neu uwch. Gall y caledwch uchel wrthsefyll yn effeithiol y traul a achosir gan symudiad a ffrithiant mynych cydrannau yn ystod gweithrediad yr offer, gan sicrhau y gall y sylfaen gynnal maint manwl gywirdeb uchel ar ôl defnydd hirdymor. Yn yr offer pecynnu sglodion, mae'r fraich robot yn aml yn gafael ac yn gosod y sglodion ar y sylfaen, a gall caledwch uchel y sylfaen sicrhau nad yw'r wyneb yn hawdd i gynhyrchu crafiadau a chynnal cywirdeb symudiad braich y robot.
Dwysedd: Dylai dwysedd y deunydd fod rhwng 2.6-3.1 g/cm³. Mae'r dwysedd priodol yn sicrhau sefydlogrwydd o ansawdd da i'r sylfaen, a all sicrhau digon o anhyblygedd i gynnal yr offer, ac ni fydd yn achosi anawsterau i osod a chludo'r offer oherwydd pwysau gormodol. Mewn offer archwilio lled-ddargludyddion mawr, mae dwysedd sylfaen sefydlog yn helpu i leihau trosglwyddiad dirgryniad yn ystod gweithrediad yr offer a gwella cywirdeb canfod.
Sefydlogrwydd thermol: mae cyfernod ehangu llinol yn llai na 5 × 10⁻⁶/℃. Mae offer lled-ddargludyddion yn sensitif iawn i newidiadau tymheredd, ac mae sefydlogrwydd thermol y sylfaen yn uniongyrchol gysylltiedig â chywirdeb yr offer. Yn ystod y broses lithograffeg, gall amrywiadau tymheredd achosi ehangu neu grebachu'r sylfaen, gan arwain at wyriad ym maint y patrwm amlygiad. Gall y sylfaen gwenithfaen gyda chyfernod ehangu llinol isel reoli'r newid maint mewn ystod fach iawn pan fydd tymheredd gweithredu'r offer yn newid (yn gyffredinol 20-30 ° C) i sicrhau cywirdeb y lithograffeg.
Yn drydydd, ansawdd yr wyneb
Garwedd: Nid yw gwerth garwedd arwyneb Ra ar y sylfaen yn fwy na 0.05μm. Gall yr wyneb hynod esmwyth leihau amsugno llwch ac amhureddau a lleihau'r effaith ar lendid amgylchedd gweithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion. Yn y gweithdy di-lwch ar gyfer gweithgynhyrchu sglodion, gall gronynnau bach arwain at ddiffygion fel cylched fer y sglodion, ac mae wyneb llyfn y sylfaen yn helpu i gynnal amgylchedd glân y gweithdy a gwella cynnyrch y sglodion.
Diffygion microsgopig: Ni chaniateir unrhyw graciau, tyllau tywod, mandyllau na diffygion eraill ar wyneb y sylfaen. Ar y lefel microsgopig, ni ddylai nifer y diffygion â diamedr sy'n fwy nag 1μm y centimetr sgwâr fod yn fwy na 3 trwy ficrosgopeg electron. Bydd y diffygion hyn yn effeithio ar gryfder strwythurol a gwastadrwydd wyneb y sylfaen, ac yna'n effeithio ar sefydlogrwydd a chywirdeb yr offer.
Yn bedwerydd, sefydlogrwydd a gwrthsefyll sioc
Sefydlogrwydd deinamig: Yn yr amgylchedd dirgryniad efelychiedig a gynhyrchir gan weithrediad offer lled-ddargludyddion (ystod amledd dirgryniad 10-1000Hz, osgled 0.01-0.1mm), dylid rheoli dadleoliad dirgryniad pwyntiau mowntio allweddol ar y sylfaen o fewn ±0.05μm. Gan gymryd offer profi lled-ddargludyddion fel enghraifft, os yw dirgryniad y ddyfais ei hun a dirgryniad yr amgylchedd cyfagos yn cael eu trosglwyddo i'r sylfaen yn ystod y llawdriniaeth, gellir ymyrryd â chywirdeb y signal prawf. Gall sefydlogrwydd deinamig da sicrhau canlyniadau prawf dibynadwy.
Gwrthiant seismig: Rhaid i'r sylfaen fod â pherfformiad seismig rhagorol, a gall wanhau egni'r dirgryniad yn gyflym pan fydd yn destun dirgryniad allanol sydyn (megis dirgryniad efelychu tonnau seismig), a sicrhau bod safle cymharol cydrannau allweddol yr offer yn newid o fewn ±0.1μm. Mewn ffatrïoedd lled-ddargludyddion mewn ardaloedd sy'n dueddol o gael daeargrynfeydd, gall seiliau sy'n gwrthsefyll daeargrynfeydd amddiffyn offer lled-ddargludyddion drud yn effeithiol, gan leihau'r risg o ddifrod i offer a tharfu ar gynhyrchu oherwydd dirgryniad.
5. Sefydlogrwydd cemegol
Gwrthiant cyrydiad: Dylai'r sylfaen wenithfaen wrthsefyll cyrydiad asiantau cemegol cyffredin yn y broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion, fel asid hydrofflworig, aqua regia, ac ati. Ar ôl socian mewn toddiant asid hydrofflworig gyda chyfran màs o 40% am 24 awr, ni ddylai'r gyfradd colli ansawdd arwyneb fod yn fwy na 0.01%; socian mewn aqua regia (cymhareb cyfaint asid hydroclorig i asid nitrig 3:1) am 12 awr, ac nid oes unrhyw olion amlwg o gyrydiad ar yr wyneb. Mae'r broses weithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn cynnwys amrywiaeth o brosesau ysgythru a glanhau cemegol, a gall gwrthiant cyrydiad da'r sylfaen sicrhau nad yw'r defnydd hirdymor yn yr amgylchedd cemegol yn cael ei erydu, a bod y cywirdeb a'r cyfanrwydd strwythurol yn cael eu cynnal.
Gwrth-lygredd: Mae gan y deunydd sylfaen amsugniad isel iawn o lygryddion cyffredin yn yr amgylchedd gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, fel nwyon organig, ïonau metel, ac ati. Pan gaiff ei roi mewn amgylchedd sy'n cynnwys 10 PPM o nwyon organig (e.e. bensen, tolwen) ac 1ppm o ïonau metel (e.e. ïonau copr, ïonau haearn) am 72 awr, mae'r newid perfformiad a achosir gan amsugno llygryddion ar wyneb y sylfaen yn ddibwys. Mae hyn yn atal halogion rhag mudo o wyneb y sylfaen i'r ardal gweithgynhyrchu sglodion ac effeithio ar ansawdd y sglodion.
Amser postio: Mawrth-28-2025