Maes cymhwysiad modiwl symudiad ultra-gywirdeb arnofio aer echel sengl gan ddefnyddio sylfaen gwenithfaen.

Gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion: Yn y broses weithgynhyrchu sglodion, mae angen i'r broses ffotolithograffeg drosglwyddo'r patrwm cylched yn fanwl gywir i'r wafer. Gall sylfaen gwenithfaen y modiwl symudiad ultra-fanwl gywir ar arnofio aer echel sengl ddarparu lleoliad manwl gywir a chefnogaeth sefydlog i'r bwrdd wafer yn yr offer lithograffeg. Er enghraifft, mae ASML a gweithgynhyrchwyr peiriannau lithograffeg eraill o fri rhyngwladol yn defnyddio modiwlau symudiad ar arnofio aer sylfaen gwenithfaen yn eu hoffer pen uchel, a all reoli cywirdeb lleoli'r wafer ar lefel nanometr i sicrhau cywirdeb y patrwm lithograffeg, a thrwy hynny wella integreiddio a pherfformiad y sglodion.
Maes mesur manwl gywir: Mae CMM yn offer mesur manwl a ddefnyddir yn gyffredin mewn cynhyrchu diwydiannol, a ddefnyddir i fesur maint, siâp a chywirdeb safle'r darn gwaith. Gellir defnyddio modiwl symudiad manwl iawn y fflôt aer echel sengl ar y sylfaen wenithfaen fel platfform symudiad y CMM, a all wireddu symudiad llinol manwl iawn a darparu llwybr symudiad sefydlog ar gyfer y chwiliedydd mesur. Er enghraifft, mae CMM pen uchel Hexagon yn defnyddio'r cyfuniad hwn i fesur rhannau mawr a chymhleth gyda chywirdeb mesur hyd at lefel micron, gan ddarparu gwarant gref ar gyfer rheoli ansawdd rhannau yn y diwydiannau modurol, awyrofod a diwydiannau eraill.
Maes awyrofod: Wrth brosesu a phrofi rhannau awyrofod, mae angen manylder uchel. Er enghraifft, mae peiriannu llafnau injan awyrennau yn gofyn am reolaeth fanwl gywir o daith symudiad yr offeryn i sicrhau cywirdeb proffil y llafn. Gellir defnyddio modiwl symudiad uwch-fanwl gywir arnofio aer un echel o sylfaen gwenithfaen i'r ganolfan peiriannu pum echel ac offer arall i ddarparu rheolaeth symudiad manwl iawn ar gyfer yr offeryn a sicrhau y gall cywirdeb peiriannu'r llafn fodloni'r gofynion dylunio. Ar yr un pryd, ym mhroses gydosod yr injan awyr, mae hefyd angen defnyddio offer mesur manwl iawn i ganfod cywirdeb cydosod y rhannau. Gall modiwl symudiad arnofio aer y sylfaen gwenithfaen ddarparu cefnogaeth sefydlog a symudiad cywir ar gyfer yr offer mesur i sicrhau ansawdd y cydosod.
Maes archwilio optegol: Yn y broses weithgynhyrchu a phrofi cydrannau optegol, mae angen perfformio lleoli a mesur manwl gywir o gydrannau optegol. Er enghraifft, wrth weithgynhyrchu cydrannau optegol manwl gywir fel drychau a lensys, mae angen defnyddio interferomedrau ac offer arall i ganfod cywirdeb siâp yr wyneb. Gellir defnyddio sylfaen gwenithfaen y modiwl symudiad ultra-fanwl sy'n arnofio aer echel sengl fel platfform symudiad yr interferomedr, a all wireddu'r cywirdeb lleoli is-micron a darparu cefnogaeth data cywir ar gyfer canfod cydrannau optegol. Yn ogystal, yn yr offer prosesu laser, mae hefyd angen defnyddio platfform symudiad manwl gywir i reoli trywydd sganio'r trawst laser, gall sylfaen gwenithfaen y modiwl symudiad arnofiol aer fodloni'r gofyniad hwn, er mwyn cyflawni prosesu laser manwl gywir.