Ym meysydd gweithgynhyrchu pen uchel ac ymchwil wyddonol arloesol, platfform symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir yw'r offer allweddol i gyflawni gweithrediad hynod fanwl gywir. Y sylfaen fanwl gywirdeb gwenithfaen yw rhan gefnogol graidd y platfform, ac mae ei berfformiad yn gysylltiedig yn agos â'r amgylchedd gwaith. Gall deall a bodloni'r gofynion amgylcheddol hyn nid yn unig sicrhau gweithrediad manwl iawn y platfform, ond hefyd fod yn rhan bwysig o'r fenter i wella ei chystadleurwydd mewn meysydd cysylltiedig, a ddisgrifir yn fanwl isod.
1. Tymheredd: rheolaeth fanwl gywir i sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol
Er bod gwenithfaen yn adnabyddus am ei sefydlogrwydd, nid yw ei gyfernod ehangu thermol yn sero, a gall newidiadau tymheredd bach effeithio ar ei gywirdeb dimensiynol o hyd. Yn gyffredinol, cyfernod ehangu thermol gwenithfaen yw 5-7 ×10⁻⁶/℃. Yn y senario cymhwyso platfform symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir, mae'r newid bach hwn yn cael ei fwyhau gan y platfform, a all arwain at wyriad yng nghywirdeb y symudiad. Er enghraifft, yn y broses weithgynhyrchu sglodion lled-ddargludyddion, y broses lithograffeg ar gyfer gofynion cywirdeb lleoli lefel danami, yr amrywiad tymheredd amgylchynol o 1 ° C, gall hyd ochr sylfaen gwenithfaen 1 metr gynhyrchu 5-7 micron o ehangu neu grebachu llinol, sy'n ddigon i wneud i batrwm lithograffeg y sglodion wyriad, lleihau'r cynnyrch. Felly, y platfform arnofiol aer pwysau statig manwl gywir sydd â sylfaen manwl gwenithfaen, dylid rheoli tymheredd yr amgylchedd gwaith delfrydol yn llym ar 20 ° C ±1 ° C, gall mentrau osod system aerdymheru tymheredd cyson manwl gywir, monitro a haddasu'r tymheredd amgylchynol yn barhaus yn gywir, cynnal maint sefydlogrwydd sylfaen y gwenithfaen, er mwyn sicrhau bod y platfform yn gweithredu manwl gywir iawn.
2. lleithder: rheolaeth resymol, amddiffyn y perfformiad sylfaenol
Mae lleithder hefyd yn cael effaith sylweddol ar seiliau gwenithfaen manwl gywir. Mewn amgylchedd lleithder uchel, mae gwenithfaen yn hawdd i amsugno anwedd dŵr, ac efallai y bydd anwedd ar yr wyneb, a fydd nid yn unig yn ymyrryd â gweithrediad arferol y system arnofio aer, ond hefyd yn arwain at erydiad hirdymor wyneb y gwenithfaen, gan leihau ei gywirdeb a'i oes gwasanaeth. Gan gymryd y gweithdy malu lens optegol fel enghraifft, os yw'r lleithder yn uwch na 60%RH am amser hir, bydd yr anwedd dŵr sy'n cael ei amsugno ar wyneb sylfaen y gwenithfaen yn dinistrio unffurfiaeth y ffilm arnofio aer, gan arwain at ostyngiad yng nghywirdeb malu'r lens a diffygion arwyneb. Felly, mae angen rheoli lleithder cymharol yr amgylchedd gwaith rhwng 40%-60%RH. Gall mentrau ddefnyddio dadleithyddion, synwyryddion lleithder ac offer arall i fonitro a rheoli'r lleithder mewn amser real, creu amgylchedd lleithder addas ar gyfer y sylfaen gwenithfaen manwl gywir, a sicrhau gweithrediad sefydlog y platfform symudiad arnofio aer pwysau statig manwl gywir.
3. glendid: rheoli'n llym, dileu ymyrraeth gronynnau
Gronynnau llwch yw "gelyn" platfform symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir, ac maent yn gwneud niwed mawr i sylfaen fanwl gywirdeb gwenithfaen. Unwaith y bydd y gronynnau bach yn mynd i mewn i'r bwlch ffilm nwy rhwng y llithrydd arnofio nwy a sylfaen y gwenithfaen, gallant ddinistrio unffurfiaeth y ffilm nwy, cynyddu ffrithiant, a hyd yn oed grafu wyneb y sylfaen, gan effeithio'n ddifrifol ar gywirdeb symudiad y platfform. Yn y gweithdy peiriannu ultra-fanwl rhannau awyrofod, os yw'r gronynnau llwch yn yr awyr yn disgyn ar sylfaen y gwenithfaen, gall llwybr symudiad yr offeryn peiriannu wyro, gan effeithio ar gywirdeb peiriannu'r rhannau. Felly, dylid cadw'r ardal waith yn lân iawn a chyrraedd safon glendid o 10,000 neu hyd yn oed yn uwch. Gall mentrau hidlo gronynnau llwch yn yr awyr trwy osod hidlwyr aer effeithlonrwydd uchel (HEPA), a gofyn i staff wisgo dillad di-lwch, gorchuddion esgidiau, ac ati, i leihau'r llwch a ddygir gan bobl, a chynnal amgylchedd gweithredu manwl iawn sylfaen gwenithfaen a llwyfan symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir.
4. Dirgryniad: Ynysu effeithiol i greu gofod llyfn
Bydd dirgryniad allanol yn ymyrryd yn ddifrifol â chywirdeb y platfform arnofiol aer pwysau statig manwl gywir, er bod gan y sylfaen gwenithfaen manwl gywir gapasiti gwanhau dirgryniad penodol, ond gall y dirgryniad cryfder uchel dorri ei derfyn byffer o hyd. Mae'r dirgryniad a gynhyrchir gan y traffig o amgylch y ffatri a gweithrediad offer mecanyddol mawr yn cael ei drosglwyddo i'r sylfaen gwenithfaen trwy'r ddaear, a fydd yn ymyrryd â chywirdeb symudiad y platfform. Mewn CMM pen uchel, gall dirgryniad achosi i'r cyswllt rhwng y chwiliedydd mesur a'r darn gwaith i'w fesur fod yn ansefydlog, gan arwain at wyriad yn y data mesur. Er mwyn datrys y broblem hon, mae angen mabwysiadu mesurau ynysu dirgryniad effeithiol, megis gosod padiau ynysu dirgryniad yn yr ardal gosod offer, adeiladu sylfaen ynysu dirgryniad, neu ddefnyddio system ynysu dirgryniad gweithredol i wrthbwyso dirgryniad allanol yn weithredol, a chreu amgylchedd gwaith tawel a sefydlog ar gyfer y sylfaen gwenithfaen manwl gywir a'r platfform symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir.
Bodloni'r gofynion amgylcheddol uchod, er mwyn rhoi mantais lawn i fanteision sylfaen manwl gywirdeb gwenithfaen yn y platfform symudiad arnofiol aer pwysau statig manwl gywir, er mwyn sicrhau bod y platfform yn darparu gwasanaethau rheoli symudiad manwl gywir a sefydlogrwydd uchel ar gyfer amrywiol ddiwydiannau. Os gall mentrau roi sylw i'r manylion hyn yn yr amgylchedd cynhyrchu, byddant yn manteisio ar y cyfle mewn gweithgynhyrchu manwl gywir, ymchwil wyddonol a meysydd eraill, yn gwella eu cystadleurwydd, ac yn cyflawni datblygiad cynaliadwy.
Amser postio: 10 Ebrill 2025