Defnyddir systemau dwyn aer gwenithfaen yn helaeth ynmanwl gywirdeb uwchllwyfannau symudiad ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, aliniad optegol, a metroleg ar raddfa nanometr.
Mae'r systemau hyn yn dileu cyswllt mecanyddol trwy ddefnyddio ffilm aer dan bwysau denau, gan gyflawni symudiad ffrithiant bron yn sero.
Egwyddor Dwyn Aer
Mae berynnau aer yn gweithredu trwy gyflwyno aer cywasgedig rhwng dau arwyneb, gan ffurfio ffilm aer 2–20 μm.
Mae hyn yn dileu:
- Ffrithiant mecanyddol
- Gwisgwch
- Ymddygiad glynu-llithro
Mae'r system yn dibynnu ar ddeinameg ffilm hylif a llif laminar sefydlog.
Rôl Gwenithfaen
Mae gwenithfaen yn darparu:
- Sefydlogrwydd strwythurol
- Atal drifft thermol
- Dampio dirgryniad
Mae'n gwasanaethu fel y sylfaen gyfeirio fecanyddol ar gyfer y system symud.
Cydrannau System
- Sylfaen gwenithfaen
- Padiau dwyn aer
- System gyflenwi aer
- Amgodwyr manwl gywirdeb
- System rheoli symudiadau
Nodweddion Perfformiad
Mae perfformiad nodweddiadol yn cynnwys:
- Cywirdeb lleoli is-micron
- Sythder uchel dros deithio hir
- Dim adlach mecanyddol
Mae ffynonellau gwall allweddol yn cynnwys ansefydlogrwydd pwysedd aer, drifft thermol, a gwall amgodiwr.
Cymwysiadau
- Archwiliad wafer lled-ddargludyddion
- Systemau lithograffeg
- Llwyfannau aliniad optegol
- Peiriannau metroleg pen uchel
Cwestiynau Cyffredin
A yw berynnau aer yn gwisgo allan?
Nid oes unrhyw gyswllt mecanyddol yn dileu traul.
Pam defnyddio gwenithfaen?
Ar gyfer sefydlogrwydd a dampio dirgryniad.
Beth sy'n cyfyngu ar gywirdeb?
Sefydlogrwydd aer ac effeithiau thermol.
A allant gario llwythi trwm?
Ydw, yn dibynnu ar y dyluniad.
Amser postio: Gorff-03-2026