Wrth i'r diwydiant lled-ddargludyddion fynd ar drywydd nodau prosesu is-2nm yn frwd, mae'r ymyl ar gyfer gwallau mecanyddol wedi diflannu bron yn llwyr. Yn yr amgylchedd risg uchel hwn, nid yw sefydlogrwydd y siambr brosesu bellach yn bryder eilradd; dyma'r prif dagfa ar gyfer cynnyrch. Yn ZHHIMG, rydym yn gweld newid sylfaenol yn y ffordd y mae OEMs byd-eang yn ymdrin ag uniondeb strwythurol offer cyfalaf lled-ddargludyddion.
Ffiseg Tawelwch: Technegau Dampio Dirgryniad Uwch
Mewn gweithgynhyrchu wafers modern, mae dirgryniadau a ystyrid ar un adeg yn "sŵn cefndir" bellach yn drychinebus. Boed yn ficro-osgiliadau o system HVAC cyfleuster neu'n inertia mewnol llwyfan sganio cyflym, mae ynni heb ei reoli yn cyfieithu'n uniongyrchol i wallau gorchudd a phatrymau aneglur.
Mae technegau dampio dirgryniad cyfredol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion wedi esblygu i fod yn bensaernïaeth aml-haenog. Er bod dampio goddefol—gan ddefnyddio deunyddiau màs uchel fel castio mwynau neu wenithfaen manwl gywir—yn parhau i fod y sylfaen, rydym yn gweld cynnydd mewn integreiddio dampio gweithredol.
Mae systemau gweithredol yn defnyddio gweithredyddion piezoelectrig a synwyryddion amser real i “ganslo” dirgryniadau trwy gynhyrchu gwrth-amleddau. Fodd bynnag, mae effeithiolrwydd systemau gweithredol yn gyfyngedig yn ei hanfod gan gymhareb dampio'r deunydd sylfaen. Dyma lle mae arbenigedd ZHHIMG mewn deunyddiau strwythurol dampio uchel yn dod yn hanfodol. Trwy gyfuno electroneg weithredol â sylfaen gwenithfaen neu gyfansawdd anadweithiol naturiol, rydym yn darparu “Parth Tawel” lle gall nano-leoli ddigwydd heb ymyrraeth.
Cynnydd Symudiad Di-ffrithiant: Technoleg Bearing Aer
Mae'r galw am allbwn uwch wedi gwthio berynnau mecanyddol traddodiadol i'w terfynau. Mae ffrithiant yn arwain at wres, ac mae gwres yn arwain at ehangu thermol—gelyn manwl gywirdeb. Mae hyn wedi arwain at fabwysiadu'n eangtechnoleg dwyn aer ar gyfer llwyfannau manwl gywir.
Mae berynnau aer yn cynnal llwyth ar ffilm denau o aer dan bwysau, sydd fel arfer dim ond ychydig ficronau o drwch. Gan nad oes unrhyw gyswllt corfforol, nid oes unrhyw ffrithiant statig (stiction). Mae hyn yn caniatáu ar gyfer:
-
Symudiad Heb Hysteresis: Sicrhau bod y llwyfan yn dychwelyd i'r un cyfesuryn nanometr union bob tro.
-
Cysondeb Cyflymder: Hanfodol ar gyfer cymwysiadau sganio fel archwilio trawst-E lle byddai hyd yn oed y "cogio" lleiaf mewn beryn mecanyddol yn ystumio'r ddelwedd.
-
Hirhoedledd Eithafol: Gan nad oes unrhyw rannau'n cyffwrdd, nid oes unrhyw wisgo nac unrhyw gynhyrchu gronynnau, gan eu gwneud yn ddelfrydol ar gyfer amgylcheddau ystafell lân Dosbarth 1.
Yn ZHHIMG, rydym yn cynhyrchu'r arwynebau gwenithfaen hynod wastad sy'n gwasanaethu fel y canllawiau ar gyfer y berynnau aer hyn. Er mwyn gweithredu'n gywir, rhaid lapio'r arwynebau hyn i wastadedd a fesurir mewn ffracsiynau o donfedd golau.
Tueddiadau mewn Offer Cyfalaf Lled-ddargludyddion: 2026 a Thu Hwnt
Wrth i ni symud trwy 2026, ytueddiadau mewn offer cyfalaf lled-ddargludyddionwedi'u nodweddu gan “Y Tri Philer”: Modiwleiddio, Cynaliadwyedd, a Rheolaeth Thermol.
-
Dylunio Platfform Modiwlaidd: Mae OEMs yn chwilio am fodiwlau sylfaen “plygio-a-chwarae”. Yn lle dylunio sylfaen newydd ar gyfer pob offeryn, maent yn defnyddio sylfeini manwl gywir ZHHIMG safonol y gellir eu haddasu ar gyfer lithograffeg, metroleg, neu ysgythru.
-
Rheoli Thermol: Gan fod ffynonellau golau EUV (Uwchfioled Eithafol) yn cynhyrchu gwres aruthrol, rhaid i sylfaen y peiriant weithredu fel sinc gwres enfawr. Rydym yn integreiddio sianeli oeri cymhleth yn uniongyrchol i'n cydrannau mwynau a gwenithfaen i gynnal delta o $<0.01^\circ\text{C}$.
-
Cydnawsedd Gwactod: Gyda mwy o brosesau'n symud i amgylcheddau gwactod uchel, rhaid i'r deunyddiau a ddefnyddir fod â dim all-nwyo. Mae ein prosesu gwenithfaen a serameg arbenigol yn sicrhau nad yw cyfanrwydd y gwactod byth yn cael ei beryglu gan y sylfaen strwythurol.
Partneriaeth Strategol gyda ZHHIMG
Nid dim ond gwneuthurwr cydrannau yw ZHHIMG; rydym yn bartner strategol yn y gadwyn gyflenwi rheoli symudiadau. Mae ein cyfleuster yn Tsieina yn gweithio mewn cydweithrediad agos â thimau peirianneg yn Silicon Valley ac Eindhoven i ddatrys yr heriau sefydlogrwydd anoddaf yn y diwydiant.
Drwy fanteisio ar ein technegau lapio perchnogol a'n dealltwriaeth ddofn otechnegau dampio dirgryniad, rydym yn galluogi ein cleientiaid i wthio ffiniau Cyfraith Moore. P'un a ydych chi'n datblygu offeryn ALD (Atomic Layer Deposition) cenhedlaeth nesaf neu brawfwr wafer cyflym, mae'r sylfaen yn dechrau gyda ZHHIMG.
Casgliad
Mae esblygiad gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion yn ras yn erbyn deddfau ffiseg. Wrth i'r diwydiant symud tuag at 2026, dim ond dwysáu fydd y ffocws ar gywirdeb dwyn aer a dampio uwch. Mae aros ar flaen y gad o ran y tueddiadau hyn yn gofyn am sylfaen - yn llythrennol ac yn ffigurol - wedi'i hadeiladu ar arbenigedd ac arloesedd.
Amser postio: Ion-26-2026