Beth yw'r safonau graddio ar gyfer platfform profi gwenithfaen gradd 00?

Mae'r platfform profi gwenithfaen gradd 00 yn offeryn mesur manwl iawn, ac mae ei safonau graddio yn cwmpasu'r agweddau canlynol yn bennaf:

Cywirdeb Geometreg:

Gwastadrwydd: Rhaid i'r gwall gwastadrwydd ar draws wyneb cyfan y platfform fod yn fach iawn, fel arfer wedi'i reoli i'r lefel micron. Er enghraifft, o dan amodau safonol, ni ddylai'r gwyriad gwastadrwydd fod yn fwy na 0.5 micron, sy'n golygu bod wyneb y platfform bron yn hollol wastad, gan ddarparu cyfeirnod sefydlog ar gyfer mesur.

Paraleliaeth: Mae angen paraleliaeth eithriadol o uchel rhwng gwahanol arwynebau gwaith i sicrhau cywirdeb mesur. Er enghraifft, dylai'r gwall paraleliaeth rhwng dau arwyneb gwaith cyfagos fod yn llai na 0.3 micron i sicrhau dibynadwyedd data wrth fesur onglau neu safleoedd cymharol.

Perpendicwlaredd: Rhaid rheoli'r perpendicwlaredd rhwng pob arwyneb gweithio a'r arwyneb cyfeirio yn llym. Yn gyffredinol, dylai'r gwyriad perpendicwlaredd fod o fewn 0.2 micron, sy'n hanfodol ar gyfer cymwysiadau sydd angen mesuriad fertigol, megis mesur cyfesurynnau tri dimensiwn.

Priodweddau Deunydd:

Gwenithfaen: Defnyddir gwenithfaen â gwead unffurf a strwythur trwchus fel arfer fel y deunydd sylfaen. Mae ei galedwch uchel, ei wrthwynebiad gwisgo rhagorol, a'i gyfernod ehangu thermol isel yn sicrhau sefydlogrwydd dimensiynol y platfform a'i wrthwynebiad i anffurfiad yn ystod defnydd hirdymor. Er enghraifft, dylai'r gwenithfaen a ddewisir fod â chaledwch Rockwell o 70 neu uwch i sicrhau ymwrthedd gwisgo a chrafu rhagorol y platfform.

Sefydlogrwydd: Mae llwyfannau profi gwenithfaen gradd 00 yn cael triniaeth heneiddio drylwyr yn ystod y gweithgynhyrchu i ddileu straen mewnol, gan sicrhau perfformiad sefydlog o dan amodau amgylcheddol amrywiol. Ar ôl y driniaeth, nid yw cyfradd newid dimensiwn y llwyfan yn fwy na 0.001 mm/m y flwyddyn, gan fodloni gofynion mesur manwl iawn.

Ansawdd Arwyneb:

Garwedd: Mae garwedd arwyneb y platfform yn isel iawn, fel arfer islaw Ra0.05, gan arwain at llyfnder tebyg i ddrych. Mae hyn yn lleihau ffrithiant a gwall rhwng yr offeryn mesur a'r gwrthrych sy'n cael ei fesur, a thrwy hynny'n gwella cywirdeb mesur.

Sglein: Mae sglein uchel y platfform, sydd fel arfer yn uwch na 80, nid yn unig yn gwella ei estheteg ond mae hefyd yn hwyluso arsylwi gweithredwyr ar ganlyniadau mesur a graddnodi.

Sefydlogrwydd Cywirdeb Mesur:

Sefydlogrwydd Tymheredd: Gan fod mesuriadau'n aml yn gofyn am weithredu mewn amgylcheddau tymheredd amrywiol, rhaid i blatfform profi gwenithfaen gradd 00 arddangos sefydlogrwydd tymheredd rhagorol. Yn gyffredinol, ni ddylai cywirdeb mesur y platfform amrywio mwy na 0.1 micron dros ystod tymheredd o -10°C i +30°C, gan sicrhau canlyniadau mesur cywir o dan bob cyflwr tymheredd.

Sefydlogrwydd Hirdymor: Dylai cywirdeb mesur y platfform aros yn sefydlog dros ddefnydd hirdymor, ac ar ôl cyfnod o ddefnydd, ni ddylai ei gywirdeb amrywio y tu hwnt i'r ystod benodedig. Er enghraifft, o dan amodau gweithredu arferol, ni ddylai cywirdeb mesur y platfform wyro mwy na 0.2 micron dros gyfnod o flwyddyn.

I grynhoi, mae'r safonau graddio ar gyfer llwyfannau profi gwenithfaen gradd 00 yn hynod o llym, gan gwmpasu sawl agwedd gan gynnwys cywirdeb geometrig, priodweddau deunydd, ansawdd arwyneb, a sefydlogrwydd cywirdeb mesur. Dim ond trwy fodloni'r safonau uchel hyn y gall y llwyfan chwarae ei rôl hanfodol mewn mesur manwl gywir, gan ddarparu meincnod mesur cywir a dibynadwy ar gyfer ymchwil wyddonol, profi peirianneg, a rheoli ansawdd.